[发明专利]一种提高直拉硅单晶棒中氧含量的方法及增氧器有效
| 申请号： | 01136769.5 | 申请日： | 2001-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN1414148A | 公开（公告）日： | 2003-04-30 |
| 发明（设计）人： | 屠海令;周旗钢;张果虎;戴小林;吴志强;方锋 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04 |
| 代理公司： | 北京元中专利事务所 | 代理人： | 母宗绪 |
| 地址： | 100088*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 提高 直拉硅单晶棒中氧 含量 方法 增氧器 | ||
【权利要求书】：
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