[发明专利]双垂直通道薄膜电晶体及其制造方法有效
申请号: | 01136822.5 | 申请日: | 2001-10-24 |
公开(公告)号: | CN1414640A | 公开(公告)日: | 2003-04-30 |
发明(设计)人: | 薛英家 | 申请(专利权)人: | 瀚宇彩晶股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L21/336;H01L27/11;H01L21/8244 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 刘朝华 |
地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 垂直 通道 薄膜 电晶体 及其 制造 方法 | ||
【说明书】:
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