[发明专利]纹理加工用研磨片及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及在磁记录介质，如磁盘制造中纹理(ラクスチャ-)加工使用的研磨片，更详细地说，本发明涉及可稳定赋予细微纹理的，磁记录介质纹理加工用研磨片。

背景技术

近年来日益发展的计算机可高性能化、小型化的重大因素之一是磁记录介质的大容量化与小型化，作为使其成为可能的技术的例子，喷镀技术等的有效使用，将在非磁性盘基板上层压的磁性薄膜层制成记录层的薄膜磁盘，由于其信息记录密度高，作为与磁头组合的磁记录介质可装载计算机的大容量硬盘系统等，加上近年来数字信息领域需要的扩大与数字信息仪器低价格化等，不仅面向企业的计算机用，而且面向一般家庭的计算机，即作为个人电脑用的磁记录介质被广泛采用并普及。

薄膜磁盘的一般制造方法中，在向非磁性盘基板上形成磁性薄膜前，作为重要的工序包括在非磁性盘基板表面(磁性薄膜的支持面)上以希望的花纹形成沟状的细微凹凸，即形成纹理的称作纹理加工的工序。由于在磁性薄膜的支持面上进行纹理加工，在介于薄膜支持面上层压的磁性薄膜等层，在薄膜磁盘表面上均匀形成细微的凹凸，以便(1)抑制由于磁头破碎(伴随信息记录密度提高，浮出量尽量小的磁头与在盘表面上存在的突起冲撞现象)引起的盘表面的损伤与向盘表面磁头的吸附(伴随硬盘系统的小型化，由于主轴马达等的小型化引起的旋转矩不足等，磁头在盘表面上吸附，仍不能浮出的现象)等，(2)通过抑制在形成非磁性层的盘基板上形成金属磁性层时的结晶成长的方向性，来提高记录方向的抗磁力等效果得到保持。

近年来进行加速开发，为了磁盘的信息记录密度提高与硬盘系统的小型化，为了信息记录/再生的连续动作时的稳定性提高与CSS(触点开与停)动作时的磁头破碎、磁头的吸附等的抑制，盘表面上加工的纹理细微化，即相当于凹凸的平均深度的平均表面粗糙度(以下略记作Ra)的精度稳定的提高是必不可少的。

作为纹理加工用研磨片，以前使用在PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)薄膜等的片基材料表面上形成研磨材料颗粒与粘合剂构成的研磨层的固定磨粒类型的研磨片，或作为游离磨粒使用将研磨材料颗粒分散在水溶液等中的悬浮液(以下略记作研磨用悬浮液或研磨液)进行纹理加工那样的游离磨粒类型的研磨片等。

固定磨粒类型的纹理加工用研磨片，每单位时间的磨削量，即加工速度优良，向着盘基板表面的研磨材料颗粒是坚硬的，而且在盘与研磨片的界面间停滞，由于研磨屑难以排除，存在易于产生伤痕的缺点。

加上游离磨粒类型易于提高研磨屑的排除性，由于液体为介质研磨材料颗粒可自由在研磨片的表面与内部移动，与固定磨粒类型相比易于调节向盘基板表面接触的强度，而且研磨片原料变化易于直接影响加工结果，建议根据加工目的分别使用植绒布与编织布等构成的各种研磨带等。

为了提高纹理加工的加工精度，将通过的研磨材料颗粒与盘基板表面接触的强度调节到最佳水平是必要的，例如作为基材使用非纺织布的方法，由于结构上缓冲性与表面平滑性优异等理由，近年来特别注目并构成许多建议。其中，使构成非纺织布的纤维的纤度更细的建议，作为研磨片表面平滑性的提高与调节与盘基板表面接触等目的已获得种种成功，例如特开平9-277175号公报中，在直径10μm以下极细纤维构成的络合非纺织布的表面上用磨削形成绒毛的研磨片，还有特开平10-188272号公报中，由0.1旦(约0.11dtex)以下的纤维构成的研磨带的各种建议。再有特开平11-144241号公报中建议的，在0.5旦(约0.55dtex)以下的亲水性纤维的无规络合纤维网的里面接合非亲水性的无规络合纤维网的起绒带，使用该起绒带加工可实现Ra＝13.7(1.37nm)程度的表面粗糙度。

这些建议都只是由纤度0.1dtex程度的极细纤维构成的非纺织布构成，只限于利用非纺织布的任意构造与纤维的纤度，亲、疏水性等纤维性质。从而，由于游离磨粒与研磨片的亲和性不足引起的研磨材料颗粒的移动性不足与凝集，或作用于研磨片表面的纤维固定性不足引起的纤维偏置等，纹理加工精度界限为Ra≥1nm水平，如使用该水平的精度加工，每单位盘数的加工速度不能提高等，在工业实施中作为本发明目的的加工精度不能满意。