[发明专利]远程半导体测试方法和装置

权利要求书

1、一种远程监视和开发半导体制造过程的装置，其特征在于：它包含：

至少一个远程工作站，其通过远程接入网与一个本地工作站相连；

一个测试系统，其通过远程接入网与此本地工作站相连。

2、根据权利要求1所述的装置，其特征在于：还包括一个客户开关，其将客户网联结到至少一个远程工作站。

3、根据权利要求1所述的装置，其特征在于：还包括一个主机开关，该主机开关将主户网联结到测试系统，当主机户占用测试系统时，该主机开关防止客户接入测试系统。

4、根据权利要求3所述的装置，其特征在于：主机开关包括手动开关。

5、根据权利要求3所述的装置，其特征在于：主机开关包括以太网开关。

6、根据权利要求3所述的装置，其特征在于：主机开关包括计算机安全软件。

7、根据权利要求1所述的装置，其特征在于：远程接入网包含：一个广域通信网，其将本地工作站与远程工作站有效地相连。

8、根据权利要求7所述的装置，其特征在于：远程接入网至少包含一个路由器。

9、根据权利要求1所述的装置，其特征在于：该连接包括一个本地工作站，该本地工作站包含本地工作站和测试系统。

10、根据权利要求1所述的装置，其特征在于：测试系统包含客户为测试器件各种性能而事先选择的辅助设备。

11、根据权利要求10所述的装置，其特征在于：辅助设备包含加温单元。

12、根据权利要求10所述的装置，其特征在于：辅助设备包含芯片探针。

13、根据权利要求10所述的装置，其特征在于：辅助设备包含器件操纵器。

14、一种远程监视和开发半导体制造过程的装置，其特征在于：它包含：

众多的远程工作站，每一个远程工作站通过远程接入网与一个本地工作站相连；

一个测试系统，它通过远程接入网与此本地工作站相连。

15、根据权利要求14所述的装置，其特征在于：本地工作站装备了众多的防火墙，以防一个远程工作站接入到任一其他远程工作站。

16、根据权利要求14所述的装置，其特征在于：至少有一个远程接入网包含一个互连网连接。

17、根据权利要求14所述的装置，其特征在于：至少有一个远程接入网包含一个专用WAN技术。

18、根据权利要求14所述的装置，其特征在于：该装置包括一个主机开关，它有选择地把主户网服务连接到测试系统。

19、根据权利要求14所述的装置，其特征在于：测试系统包含客户为测试器件各种性能而事先选择的辅助设备。

20、根据权利要求19所述的装置，其特征在于：辅助设备包含加温单元。

21、根据权利要求19所述的装置，其特征在于：辅助设备包含芯片探针。

22、根据权利要求19所述的装置，其特征在于：辅助设备包含器件操纵器。

23、一种远程监视和开发半导体制造过程的方法，它包含：

从一个通过接入网与本地工作站相连的远程工作站远程运行一个半导体测试系统，该本地工作站运行中被连到此测试系统；

从该远程工作站远程监视此测试系统；

从该远程工作站半导体测试系统获取数据。

24、根据权利要求23所述的方法，其特征在于：半导体测试系统包含一个半导体探针系统以调试和纠正IC设计。

25、根据权利要求23所述的方法，其特征在于：半导体测试系统包含一个监视制造厂所制造的半导体功能的测试系统。

26、一种远程监视和开发半导体制造过程的装置，其特征在于：它包含：

至少一个远程工作站，它通过广域网通信线与一个本地工作站有效地相连；

一个测试系统，它通过本地工作站与此本地工作站相连；

一个主户网络，它通过一个主机开关和连线与测试系统可关断地相连。

27、根据权利要求26所述的装置，其特征在于：该装置包括一个与测试系统网络相连的摄像机。