[发明专利]过滤装置

说明书

技术范围

本发明涉及半导体、食品、药品等各领域使用的过滤装置，更具体的是，涉及可靠达到精过滤的目的且省略壳体装配用密封部所使用的O形圈的高耐久性过滤装置。

背景技术

在电子部件、食品、药品、纯水等的各种制造领域，广泛使用以精过滤为目的的过滤装置。电子部件的清洗要用高纯度清洗剂。例如，若这些清洗剂中混入杂质、尤其是金属粉末等，则微细的半导体集成电路的配线之间产生短路等，不能达到预期的正常功能。例如，半导体制造时用于洗净的清洗剂，可以反复使用，而从资源保护、环境对策、降低半导体装置制造成本的观点看，应使清洗液循环使用。在循环使用时，如前述那样，因在清洗一清洗剂回收过程中混入金属微粒等，故要用滤芯除去混入物。即使使用初期是干净的滤芯，也随使用期变长留下滤渣而受污染，不久产生堵塞，不能进行充分过滤。因此，设定过滤效率降到规定水平的期间，定期更换上述过滤装置的滤芯。每次更换要破坏密封来打开过滤装置，以进行滤芯筒的更换。

图12是说明以往过滤装置用的示图。该装置具备：设有进口114和出口115的顶盖110；装拆自如地安装在顶盖上的滤芯筒101；围住滤芯筒而构成流路壁的壳体111。由顶盖110与壳体111构成外壳113。滤芯筒101是通过将嵌入装配部108的O形圈121压入设在顶盖110上的滤芯筒安装部125进行嵌合后而形成密封，并实现装拆自如的安装。将容纳于设在壳体111上端部的O形圈槽131内的O形圈与从顶盖向下突出的凸缘部132抵接，再用盖形螺母112紧固。通过旋合O形圈与凸缘顶端相互压紧对方，形成密封部。即，在O形圈122与顶盖的凸缘部132之间形成密封。顶盖上设有排气口及压力表接管座116、117、118，而壳体111上设有排液口119。

从进口114输入的过滤对象的液体，流经滤芯筒101时被过滤，再流经滤芯筒安装部125而从出口115流出。

但是，在上述过滤装置中，在更换滤芯筒101时，为了彻底防止微粒混入，以往也更换形成密封的O形圈122。例如，由氟橡胶单体构成的O形圈122价格很贵，即使内侧为橡胶、外侧为氟树脂制的O形圈，价格也较贵。每次更换滤芯筒要更换高价的O形圈，降低了价格竞争力，这不是所希望的。另外，由于造成废弃物增加，故从生态学观点看也不好。而且，在装配无氟橡胶的O形圈时，O形圈自体脱落的微粒等杂质有可能混入。因此，要求开发的过滤装置是，构成顶盖与壳体间密封的O形圈的更换频度少，或者具有不需更换的密封结构。

发明的详细说明

本发明的目的是，提供具有耐久性优异的过滤装置，它不需要形成壳体装配用密封的O形圈，而且不必顾虑在更换滤芯筒时或其他机会混入微粒等。

本发明的过滤装置具备：设有进口和出口的顶盖；围住装卸自如地安装在顶盖上的滤芯筒而形成流路壁的壳体；以及对顶盖和壳体施力而紧固成压紧的紧固装置。顶盖具备设在面对壳体部分的顶盖密封部。而且，壳体具备通过由紧固装置的施力直接抵接在顶盖上而形成密封部的壳体密封部。

由于顶盖密封部与壳体密封部直接抵接形成密封部，可不用O形圈而以简单的构造形成密封部。为此，能够防止O形圈脱落的杂质混入。而且不采用O形圈，能够削减构件成本。

前述发明的过滤装置中，其顶盖密封部和壳体密封部延伸成环状，一方是突出的凸部，另一方是与该凸部抵接的凹槽部。密封部可作成至少2条的圆状密封部。

通过形成至少2条的圆状密封部，可形成稳定性高的密封部。例如，即使过滤对象是热硫酸等，也可放心地进行过滤。这里前述的2条“圆状密封”是指圆状部分的程度的意思，该线的截面是有大小的，不是严密定义的线。即，哪种材料都有大小，而且可以弹性变形。由于前述施力，密封部产生弹性变形，形成有尺寸的密封部。

采用前述结构能够实现可靠的密封，且不必用O形圈，从而没有必要更换价高的O形圈，并且可使混入来自O形圈的杂质的可能性消除。其结果是，可以提供价廉、适用于超精细过滤的、具备壳体装配用密封部的过滤装置。而且，这些凸部和凹状槽制造容易，即制造型材、再通过挤压成型等而可容易地制成。即可按以往的与O型槽同样程度的加工成本进行制造。滤芯筒更换时打开及组装的操作也非常方便。其结果是，可以不采用O形圈而构成可靠的密封部。

前述本发明的过滤装置中，凹状槽与凸部相互压紧，从而弹性地扩大其宽度，因其复原力而可与凸部形成密封部。

通过将凸部由紧固装置压入槽部而使凹状槽产生弹性变形，其宽扩大，因其复原力作用，与凸部之间形成2条可靠的密封部。采用前述构造，过滤装置的制造、组装及打开的操作变得非常简单。