[发明专利]双层硅碳化合物阻障层有效
| 申请号： | 01143894.0 | 申请日： | 2001-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN1427476A | 公开（公告）日： | 2003-07-02 |
| 发明（设计）人： | 杨能辉;蔡正原;吴欣昌 | 申请（专利权）人： | 联华电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/532 | 分类号： | H01L23/532;H01L21/3205;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陈小雯,肖鹂 |
| 地址： | 台湾省新竹科*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 双层 碳化 阻障 | ||
【说明书】：
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