[发明专利]装置管理方法,装置管理系统及记录装置管理程序的记录媒体

说明书

                        技术领域

本发明涉及用来提高装置的品质及生产性的装置管理方法，装置管理系统及记录装置管理程序的记录媒体。

                        技术背景

此前，为了对用于半导体器件制造的半导体制造装置的品质管理及生产性进行管理，是将装置的故障，维护，改造历史，装置的日常检查项目等记录于纸上，需要时适时取出所需要的纸张，对装置进行管理。

由于半导体器件的微细化和高集成化，制造装置也高功能化和复杂化。其结果用于管理制造装置的条件也复杂化，需要装置管理的高度知识。

此外，在装置发生故障等事故的场合，与事故对应的对制造商的依赖性高，增加修理费用及恢复时间，降低装置的生产性。

另外，由于进一步的产品材料利用率管理及品质保障方面发出请求，装置的状态管理正逐渐在受到重视。

然而，鉴于现在的制造现场状况是有多个装置一直在工作，已经超过通过纸及操作员的记忆可以进行管理的范围。另外，即使是以纸面进行记录，由于装置台数的增加等等要找到所需要的信息时间会很长，其结果变成在很大程度上要依赖操作员的记忆。

                        发明内容

本发明就是为解决上述课题而完成的，其目的在于提供一种用来提高装置的品质性及生产性的装置管理方法，装置管理系统及记录装置管理程序的记录媒体。

根据本发明的一个观点，所提供的装置管理方法的特征在于包括提示输入对非工作中的装置的非工作状况进行分类的类别信息的步骤，提示输入用来确定上述非工作中的装置的非工作状况的非工作信息的步骤，以及将上述非工作信息与上述类别信息进行关联并存储于存储装置中的步骤。

此处所谓的非工作状况是指装置不工作的状况，包括比如装置故障，装置维护，装置改造等等状况。 

所谓的类别信息不仅包括用于识别非工作中的装置与其他装置的事业所，制造部门，报告人，装置类别，装置名，机号等装置识别信息，用于识别非工作状况的硬件/过程起因分类，非工作现象类别，非工作原因部位，非工作原因分类，工序等非工作状况识别信息，用于由时期确定非工作状况的非工作开始时期，非工作结束时期等非工作时间信息，也包括使非工作状况恢复为工作状况的预定时日，恢复费用，保全内容，改善活动等信息。

根据这种构成，用于确定多种原因和现象等非工作状况的信息，由于可以按类别信息分类保存，检索数据很容易。其结果是可以使非工作信息得到反馈，提高装置的工作率及品质。

此非工作信息的检索可通过以下步骤实现：提示输入对非工作中的装置的非工作状况进行分类的类别信息和非工作中的装置的非工作信息中的至少一个的步骤，从预先将对非工作中的装置的非工作状况进行分类的类别信息，以及非工作中的装置的非工作信息存储的存储装置中抽出与上述输入的信息有关联的关联信息的步骤，以及显示上述关联信息的步骤。

另外，根据本发明的另一个观点，所提供的装置管理方法的特征在于包括显示包含装置的检查项目的检查项目显示画面，提示将各检查项目的检查状态以数值输入确定的检查状态值的步骤，将输入的上述检查状态值存储于存储装置的步骤，以上述检查状态值为基础进行统计分析的步骤，以及显示上述统计分析的处理结果的步骤。

根据这种构成，可利用检查项目的统计分析结果了解装置的倾向等等，可在其成为非工作状况之前进行维护等等。其结果是装置的工作率及品质得以提高。

另外，涉及到装置或方法的本发明即使是对于将用来利用计算机执行与本发明相当的过程(或用来使计算机发挥与本发明相当的装置的功能，或用来使计算机实现与本发明相当的功能)的程序记录下来的计算机可读记录媒体也是成立的。    

                       附图说明

图1为示出本发明第一实施形态的装置管理系统的整体构成的网络构成图。

图2为示出同一实施形态的服务器的整体构成图。

图3为同一实施形态的非工作状况登录方法的顺序图。

图4为示出选择故障历史的场合非工作状况登录画面的示例图。

图5为同一实施形态的非工作状况检索方法的顺序图。

图6为示出选择故障历史场合的非工作状况检索画面的示例图。

图7为分析结果显示画面的示例图。

图8为分析结果显示画面的示例图。

图9为同一实施形态的装置检查数据的登录方法的顺序图。

图10为示出本发明第二实施形态的检查日程表的登录画面的示例图。