[发明专利]化学机械研磨机的载具膜的冲孔模具以及适用于此模具的预防保养方法无效
| 申请号： | 01144465.7 | 申请日： | 2001-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN1426860A | 公开（公告）日： | 2003-07-02 |
| 发明（设计）人： | 吴万益;蔡明发 | 申请（专利权）人： | 南亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B21D22/06 | 分类号： | B21D22/06 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 马娅佳 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨机 载具膜 冲孔 模具 以及 适用 于此 预防 保养 方法 | ||
【权利要求书】：
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