[实用新型]预防静电破坏的装置无效

专利信息
申请号: 01200866.4 申请日: 2001-02-15
公开(公告)号: CN2489471Y 公开(公告)日: 2002-05-01
发明(设计)人: 谢来福;谢宜璋;黄清荣;廖沐盛 申请(专利权)人: 矽统科技股份有限公司
主分类号: H01L23/60 分类号: H01L23/60
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 代理人: 韩宏
地址: 中国*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 预防 静电 破坏 装置
【说明书】:

本实用新型是关于一种预防静电破坏的装置,特别是关于一种涂布静电防止剂于集成电路的表面以预防静电破坏的自动化装置。

一般而言,集成电路对静电的反应非常敏感,稍有静电的累积便可能影响集成电路运算的正确性,甚至造成集成电路的永久损坏、因此预防静电的累积,对于集成电路的制造流程而言是一个很重要的课题。

图1是一已知的预防静电破坏的方法。该方法是将多个已制成的集成电路13放置于一托盘11之内,而在该托盘11的两端绑上两条静电带12。该静电带12事先被浸泡于一静电防止剂中,其目的在保护托盘11内的多个集成电路,以避免静电的累积。

图1的方法对于存放于该托盘11的不同位置的集成电路13均有不相等的静电防止效力。通常距离该静电带12较近的集成电路有较大的静电防止能力,而距离该静电带12较远的集成电路有较小的静电防止能力。另外,该静电带12对于该集成电路的保护属于静态的保护,也就是说较适合预防一外在环境,例如因干燥的空气,而造成的静电累积。但对于一些较动态的情形,例如该集成电路13在封装测试和表面粘着的阶段时,通常会和各种自动化机器手臂接触磨擦而在瞬间产生很大的静电,而这些因动态接触磨擦而造成静电的累积是已知方式所无法保护的。

由以上的叙述可知,现行应用于集成电路的静电保护方式并不能符合市场的需要。

本实用新型的目的是为克服目前使用于集成电路的静电保护效力不均且无法克服动态磨擦所产生的静电破坏的缺点。为了达到上述目的,本实用新型提供一种预防静电破坏的装置,该装置在该集成电路的封装测试过程中直接将该静电防止剂涂布于该集成电路的表面,并通过该静电防止剂而阻绝因动态的接触磨擦而造成的静电累积。

本实用新型的预防静电破坏的装置,包含一皮带、至少一个滚动马达、至少一个喷嘴、至少一个定量吐出器及至少一个光电开关。该皮带的上方用于放置该多个集成电路。该滚动马达用于卷动该皮带,并因此而使该多个集成电路不断前进。该喷嘴用于涂布该静电防止剂于该多个集成电路的表面。该定量吐出器用于控制该喷嘴输出该静电防止剂的喷出量。该光电开关连接至该喷嘴和该定量吐出器,用于感应该多个集成电路是否即将经过该喷嘴的下方。

本实用新型将依照后附的附图来说明,其中:

图1是已知的预防静电破坏的装置;及

图2是本实用新型的预防静电破坏的装置的示意图。

已知装置将多个集成电路13以两条事先被浸泡于静电防止剂的静电带12保护,而该已知装置并不能预防在测试过程中因机台和该集成电路13因接触磨擦而产生的静电破坏。为了克服该机台和该集成电路13因接触磨擦而产生的静电破坏,最直接的方式就是将该静电防止剂涂布于该集成电路13的表面。由于该静电防止剂的保护作用,在测试的过程中该机台和该集成电路13因磨擦而产生的静电便不容易累积于该集成电路13的表面、而达到保护该集成电路13免于遭受静电破坏的功效。

表1为已知装置及本实用新型装置的克服静电累积能力的比较结果,且其测试环境是在摄氏22度及湿度55%的环境下。本实用新型的发明人针对未涂有静电防止剂的集成电路及涂有静电防止剂的集成电路各以绒布磨擦约五秒钟,然后立即量测该集成电路的残留静电,并依此而得到表1的九十六次实验结果:

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