[实用新型]六自由度超精密定位及微细操作平台

权利要求书

1.一种由压电陶瓷致动器、柔性铰链组成的六自由度超精密定位及微细操作平台，其特征是，由上下两部分串接而成，下半部分的运动输出平台同时又是上半部分的基架；上半部分的运动平台与基架之间由三条支链连接，每条支链上的支架与连架杆之间由与之为一体的转动副柔性铰链相接，连架杆与两个连杆之间由两个与之为一体的转动副柔性铰链相接，两个连杆与另外一个连杆之间由另外两个与之为一体的转动副柔性铰链相接，连杆与连接杆之间通过球副柔性铰链相接，连杆与嵌放压电陶瓷致动器的凸台之间由另外一个转动副柔性铰链相接，各支链与基架及运动平台之间均通过螺钉和圆柱销钉连接；下半部分由运动平台、垫块、基平台、压电陶瓷组成，基平台上均匀分布着三条支链，每个支链上的连接杆与连杆之间由与之为一体的柔性铰链相接，连杆与连架杆由另一个与之为一体的柔性铰链相接，连架杆与嵌放压电陶瓷致动器的开槽和基平台体分别由另外两个柔性铰链相接，基平台和运动平台之间通过垫块由螺钉和圆柱销钉连接。