[实用新型]加有电场的有机蒸发镀膜装置无效
| 申请号： | 01208447.6 | 申请日： | 2001-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN2473219Y | 公开（公告）日： | 2002-01-23 |
| 发明（设计）人： | 初国强;刘星元;刘云;王立军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24 |
| 代理公司： | 长春科宇专利代理有限责任公司 | 代理人： | 李恩庆 |
| 地址： | 130022 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电场 有机 蒸发 镀膜 装置 | ||
【权利要求书】：
1、一种加有电场的有机蒸发镀膜装置，在密闭容器中包括有加热器(1)和真空接口(7)，衬底基片(2)放在加热器(1)的下面，蒸发源(6)的上面，其特征是在衬底基片(2)和蒸发源(6)之间安装有两个金属电极板(3)，两个金属电极板(3)垂直衬底基片(3)，并靠近衬底基片(3)，金属电极板(3)下面的蒸发源(6)蒸发物在向衬底基片(2)迁移时，通过两金属电极板(3)之间的空间；金属电极板(3)在容器内用绝缘棒同其它装置绝缘，用导线同电源(4)相连；两金属电极板(3)间电压为1000伏～3000伏。
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