[实用新型]加有离子源的有机蒸发镀膜装置

说明书

本实用新型属于电致发光技术领域，是一种附加有离子源的有机蒸发镀膜装置。

有机电致发光器件，是一种把电能直接转化为光能的器件，它的一般结构是三明治结构，在一金属阴极和一透明阳极之间夹一层或多层有机薄膜，通常称有机层。有机层是利用有机分子在蒸发状态下，分子的迁移，生长在特备的衬底上。制备电致发光器件的有机层，通常使用真空蒸发镀膜机。有机材料蒸发温度较低，有机分子在低的温度下，迁移率相对也较低，成膜时往往存在很多孔隙。含有孔隙的有机层放在空气中，水和氧气就会进入膜中，在加入电的情况下，水和氧就会同有机物发生反应，使有机层遭到破坏，这种有机层制备的发光器件，寿命将缩短，发光质量下降。

为了减少有机层成膜时的孔隙，保证发光器件有机层的质量和寿命，本实用新型对现有的有机蒸发镀膜机进行改进，目的是提供一种改善有机蒸发镀膜成膜性能的装置。

图1是本实用新型的结构图。图中1为加热器，2控制片，3衬底基片，4离子束，5考夫曼离子源，6蒸发源，7真空接口，8电源和气体源。

普通的真空有机蒸发镀膜机包括有加热器1，控制片2，真空接口7。衬底基片3放置在加热器1和蒸发源6之间。蒸镀时，先将衬底基片3放在加热器1的下面，并把蒸发源6安放在衬底基片和控制片2的下面，使衬底基片3保持在加热器1和蒸发源6之间，然后把真空接口7接入真空系统，使镀膜机密闭容器保持所需的真空度。最后加热，开始蒸镀。

本实用新型的特征是在镀膜机密闭容器中，同蒸发源6相近的高度位置上，安放离子辅助蒸发装置，这种离子辅助蒸发装置可以是考夫曼离子源5，并且使考夫曼离子源5发出的离子束4射向衬底基片3。考夫曼离子源5在镀膜机密闭容器的外部通过导线和管道连有电源和气体源8。

本实用新型的离子源发射出的离子，作用在分子上的能量为0.1ev～10ev。

使用本实用新型可以提高有机层的聚集密度，例如可以把喹啉铝的聚集密度由原来的0.9提高到0.97以上，表面粗糙度降低一倍以上，电子迁移率提高20％，寿命提高50％。