[实用新型]多功能组合式纳米材料发生装置

权利要求书

1、一种多功能组合式纳米材料发生装置，它包括支架与钟罩组成的真空容器，监控装置，真空容器外设粒子束发生器，真空容器内设样品台、靶台，真空容器壁设粒子束入射窗口及观察窗口，样品台与靶台之间或样品台与真空容器壁之间设电场，样品台与靶台之间设约束磁场。

2、如权利要求1所述多功能组合式纳米材料发生装置，其特征在于约束磁场为圆筒式线圈，它包括圆筒，圆筒外缠绕两种线圈，一种为磁场线圈，另一种为偏转磁场线圈，圆筒内壁附着保护层。

3、如权利要求1所述多功能组合式纳米材料发生装置，其特征在于样品台与靶台均为导体并分别接直流电源。

4、如权利要求1所述多功能组合式纳米材料发生装置，其特征在于样品台、靶台均设在导轨上。