[实用新型]真空处理设备进出料口的动态密封装置

说明书

本实用新型涉及一种真空处理设备进出料口的动态密封装置。

专利号为CN872080600的实用新型专利，公开了一种等离子真空处理设备送料口的机械密封装置，该装置存在的主要缺点一是密封性能较差，真空范围小(1～10^-2torr.)，限制了工业应用范围；二是密封结构易磨损；三是结构复杂造价高。

本实用新型的目的是要提供一种真空处理设备进出料口的动态密封装置，该装置不仅有利于在真空状态下的加工工序的连续进行，而且密封性能好，结构简单，不易损坏。

本实用新型是这样构成的，它包括真空室，上端与真空室相联接下端通向地面的进出料管，置于进出料管下方的储汞槽和进出料传动机构，进出料管下端口浸入储汞槽的金属汞内，进出料传动机构具有分别位于进出料管左、右侧的送料转筒和出料转筒以及穿过储汞槽内的金属汞体和进出料管而进出真空室的送料带，送料带的两端分别与送料转筒和出料转筒相连接，送料带的运行路线的各拐弯处设有导向轮。

本实用新型由于在真空室的进出料管处设有用以封住管道的液态金属汞，因此当进出真空室的送料带通过进出料管时仍可确保真空室与外界大气相隔离。

本实用新型充分运用了液态重金属汞的物理及化学特性，具有以下显著优点：

1.利用液态重金属汞比重大的特点，可实现进料和出料口以76cmHg高密封。

2.由于液态重金属汞对大部分材料不润湿，故不会附着加工材料。

3.利用液态重金属汞饱和蒸汽压低的特点(常温25℃，1.8×10^-3torr)，满足大部分工业应用的真空范围或工业应用等离子体的工范围。所排尾气不造成环境污染。

4.滚轴传动，不仅与其它工序连接灵活，而且便于自动化流水线作业，对加工品不损伤。

下面结合附图及实施例对本实用新型予以具体描述。

图1是实施例一的构造示意图。

图2是实施例二的构造示意图。

参照图1，实施例一中，与真空室12相联接的进出料管为同一根管1，该管中部两外侧分别设有一个转筒导向轮2，该管浸入储汞槽3的金属汞体4内的下端口上，设有靠送料转筒5一侧的送料带6入管导向轮2和靠出料转筒7一侧的送料带出管导向轮2，该管的上端口上对应设有入室导向轮2和出室导向轮2，真空室内还设有若干个以便输送带回转的导向轮2。

参照图2，实施例二中，进出料管为分别联接于真空室13左、右侧的进料管8和出料管9，进料管与出料管的下方分别设有一个储汞槽10、11，进料管朝送料转筒15一侧设有一个送料转筒导向轮14，进料管浸入储汞槽10的金属汞体内的下端口处设有送料带入管导向轮14，出料管9浸入储汞槽11的金属汞体内的下端口处设有一个出管导向轮14，出料管9朝出料转筒一侧设有一个出料转筒导向轮14。

为了进一步降低汞的饱和蒸汽压使极限真空度达10^-5torr量级，从而在满足所有种类的工业等离子体的工作气压的情况下，不造成环境污染。上述与真空室相连处的进出料管道外围可设有用以冷却金属汞的冷却装置15、16。

上述的真空室可以是具有等离子体发生器，充气装置、真空泵通口和真空测量口附设设施的等离子体连续处理设备。

本实用新型的液态重金属动态密封技术可以广泛应用于对柔性材料及小件物品的真空连续处理设备和工业等离子体连续处理设备。