[实用新型]匣盘定位装置无效
申请号: | 01219143.4 | 申请日: | 2001-04-09 |
公开(公告)号: | CN2476101Y | 公开(公告)日: | 2002-02-06 |
发明(设计)人: | 吕文镕;刘锦源;郑贤豪;赖俊魁;黄朝显;林知明 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68 |
代理公司: | 隆天国际专利商标代理有限公司 | 代理人: | 刘文意,陈红 |
地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 定位 装置 | ||
1.一种匣盘定位装置,其特征在於它包含中:
一固定座:
至少一定位单元,它固定於该固定座,该至少一定位单元包含有与一匣盘的数个上侧边相对应的数个侧边;以及
至少一驱动单元,它固定於该固定座,该至少一驱动单元是与该定位单元相连接,该至少一定位单元是由该至少一驱动单元驱动。
2.如权利要求1所述的匣盘定位装置,其特征在於所述的定位单元;其数个侧边是可为四侧边,且该匣盘的数个上侧边为四上侧边。
3.一种匣盘定位装置,其特征在於它包含有:
一固定座;
至少一定位单元,它固它於该固定座,该至少一定位单元包含有与一匣盘的数个上侧边相对应的数个侧边;以及
至少一驱动单元,它固定於该固定座,该至少一驱动单元是与该定位单元相连接,该匣盘是该至少一驱动单元驱动。
4.如权利要求3所述的匣盘定位装置,其特征在於所述的至少一定位单元,其数个侧边为四侧边,且该匣盘的数个上侧边为四上侧边。
5.一种匣盘定位装置,其特征在於它包含有:
一固定座,
至少一定位单元,它固定于该固定座,该至少一定位单元是包含有数个侧边,该数个侧边的内缘分别设有一导角,该导角分别与一匣盘的数个上侧边相对应;以及
至少一驱动单元,它固定於该固定座,该至少一驱动单元是与该定位单元相连接,该至少一定位单元是由该至少一驱动单元驱动。
6.如权利要求5所述的匣盘定位装置,其特征在於所述的至少一定位单元,其数个侧边为四侧边,且该匣盘数上侧边为四上侧边。
7.如权利要求5所述的匣盘定位装置,其特征在於所述的至少一定位单元,它包含数个定位单元,该数个定位单元的一侧边设於同一直线上。
8.一种匣盘定位装置,其特征在於它包含有:
一固定座;
至少一驱动单元,它固定於该固定座;以及
至少一定位单元,它包含有:
一第一弹性元件,它与该驱动单元相连接;
一第二弹性元件,它固一於该固定座的一侧;以及
一定位元件,它固定於固定座,且它设有一第一侧边与一第二侧边,该第一侧边及该第二这是与一匣盘的一第一上侧边及一第二上边相对应;
其中,该至少一驱动单元由第一弹性元件驱动该匣盘,该匣盘的第一上侧边与该定位元件的第一侧边紧密接合,且该第二弹性中使该匣盘的第二上侧边与该定位元件的第二侧边紧密接合。
9.如权利要求8所述的匣盘定位装置,其特征在於所述的定位元件,其第一侧边与一第二侧边相互垂直,且该匣盘的第一上侧边与第二上侧边相互垂直。
10.如权利要求8所述的匣盘定位装置,其特征在於所述的第一弹性元件,它与该第二弹性元件为一弹性元件,该弹性元件是指向该定位元件的第一侧边与第二侧边相交的一定位角,且该弹性元件是由匣盘距离该定位角最远的一对角驱动该匣盘。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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