[实用新型]匣盘输出入模块

说明书

本实用新型涉及一种匣盘的输出入模块，特别是指一种由动力源、夹持单元与支撑单元所组成的模块，它具有自动将匣盘放置于输送机构和自动将匣盘由输送机构取出的功能的模块，使晶粒捡选机在操作过程中达到全面自动化，以达到节省人事支出成本、避免人员疏忽和提高生产效率的目的。

为了提高生产效率以增加市场的竞争力，在生产过程中实施全面性自动化是目前产业的趋势，但是目前还有许多方面的动作机器不易达到，仍需以人工操作方式进行，若是能够以机器方式操作代替人工，将会使生产效率大幅提高和提高市场的竞争力。

在此仅以半导体厂的晶粒捡选机为例，请参阅图1所示，它为常规技术晶粒捡选机的示意图。该晶粒捡选机包括一承载平台10、一机器手臂11和一输送机构12；常规技术的晶粒捡选机的主要功能是在于捡选晶粒21(die)放置于匣盘3(tray)中，其实施方式由现场人员将匣盘3置于输送机构12的一端，并由该输送机构12将匣盘3输送至捡选定位，此时，由一晶片2(wafer)切割后的多个晶粒21置于承载平台10之上，晶粒捡选机利用机器手臂11捡选承载平台10上的晶粒21，置于匣盘3之中，直到匣盘3已经装满晶粒21之后，再以输送机构12将匣盘3送出，同时输送机构12的另一端会有人员将匣盘3取出。

由上述说明可知，由于常规技术的晶粒捡选机不具有自动将匣盘3放置于输送机构12和由输送机构12取出的功能，必须以人为方式操作，因而除了会造成人事成本支出的负担之外，还会造成生产效率无法提高和人员操作疏忽等缺点。

本实用新型的目的在于提出一种由动力源、夹持单元和支撑单元所组成的匣盘输出入模块，它具有操作自动化和提高生产率的特点，从而解决了现有技术所存在的问题。

本实用新型所采用的技术方案在于它包括有：

至少一动力源，用以提供驱动力，且动力源还包括有至少一推杆，它推动输送匣盘；

一夹持单元，它可接受动力源的推杆所驱动以进行匣盘的夹持动作；以及，

一支撑单元，它可接受动力源的推杆所驱动以进行匣盘的支撑动作。

本实用新型的特点在于，它是一种匣盘的输出入模块，该输出入模块具有自动将匣盘放置于输送机构和自动将匣盘由输送机构取出的功能，以达到节省人力支出成本、避免人员疏忽和提高生产效率的目的。

图1为常规技术的晶粒捡选机的示意图；

图2A为本实用新型第一实施例的匣盘输入模块的第一动力源的示意图；

图2B为本实用新型第一实施例的匣盘输入模组的夹持单元的示意图；

图2C为本实用新型第一实施例的匣盘输入模块的支撑单元的示意图；

图3为本实用新型第一实施例的匣盘输入模块的立体分解图；

图4A为本实用新型第二实施例的匣盘输出模块的第一动力源的示意图；

图4B为本实用新型第二实施例的匣盘输出模块的夹持单元的示意图；

图4C为本实用新型第二实施例的匣盘输出模块的支撑单元的示意图；

图4D为本实用新型第二实施例的匣盘输出模块的第二动力源的示意图；

图5为本实用新型第二实施例的匣盘输出模块的立体分解图；

图6A为本实用新型第三实施例的匣盘输入模块的第一动力源的示意图；

图6B为本实用新型第三实施例的匣盘输入模块的夹持单元的示意图；

图6C为本实用新型第三实施例的匣盘输入模块的支撑单元的示意图；

图6D为本实用新型第三实施例的匣盘输入模块的第二动力源的示意图；

图7为本实用新型第三实施例的匣盘输入模块的立体分解图；

图8为本实用新型第三实施例的匣盘输入模块的组合图。

现在结合上述各附图来进一步说明本实用新型的较佳具体实施例，为了解决上述常规技术中的问题，本实用新型提出一种崭新的设计。本实用新型的匣盘的输出入模块包括一匣盘输出模块和一匣盘输入模块两部分，该匣盘输入模块具有自动将整叠空匣盘按需要分开为单一匣盘、二相邻匣盘或数个相邻匣盘，并分别放置于输送机构，再由输送机构将单一匣盘、二相邻匣盘或数个相邻匣盘输入至下一工作站供盛装晶粒的功能，又该匣盘输出模块具有自动将自上一工作站输出的盛装晶粒的匣盘，逐一由输送机构取出，并堆叠成整叠匣盘的功能，以下为本实用新型的匣盘的输出入模块的详细说明。

a.匣盘输入模块：

本实用新型第一实施例的匣盘输入模组包括一动力源4、一夹持单元5以及一支撑单元6。