[实用新型]半导体激光泵浦全固态低噪声内腔倍频激光谐振腔

说明书

技术领域：本实用新型属于半导体激光泵浦全固态激光器技术领域，涉及对小功率输出的半导体激光泵浦全固态低噪声内腔倍频激光谐振腔的改进。

背景技术：如图1、2所示小功率输出的半导体激光泵浦全固态低噪声内腔倍频激光谐振腔可采用多种抑制噪声方式：F-P标准具抑制噪声方式，如图1中由半导体激光器1、耦合镜组2、激光晶体3、F-P标准具4、倍频晶体5、端面腔镜6组成。偏振片抑制噪声方式，如图2中由半导体激光器1、耦合镜组2、激光晶体3、偏振片4、倍频晶体5、端面腔镜6组成.。F-P标准具抑制噪声方式中F-P标准具的插入损耗很大，限制激光转换效率；偏振片抑制噪声方式中偏振片对倍频激光进入激光晶体产生噪声的抑制作用并不充分，依然容易产生不稳定输出。

发明内容：本实用新型的目的是从激光谐振腔总体结构着手解决已有半导体激光泵浦全固态低噪声内腔倍频激光谐振腔存在的问题，提出一种新的半导体激光泵浦全固态低噪声内腔倍频激光谐振腔模式，如图3所示包括：半导体激光器1、耦合镜组2、激光晶体3、复合腔镜4、倍频晶体5、端面腔镜6、激光晶体支架7、复合腔镜架8、耦合镜座10、端面腔镜架9、基座11，其特征在于：在耦合镜组2与端面腔镜6之间置有复合腔镜4，在激光晶体3或倍频晶体5的一个通光表面制备有复合腔镜4。

谐振腔的动态工作过程：由半导体激光器发出泵浦光通过耦合镜组入射所对应的激光晶体，激发出的荧光在由端面腔镜和复合腔镜构成的二个谐振腔内同时振荡内可产生激光，激光中除二个谐振腔内共有频率基等位相模之外的多余纵模成分在通过相互竞争后被抑制，从而形成半导体激光泵浦全固态低噪声内腔倍频激光谐振腔。

本实用新型使得谐振腔有效提高光转换效率，提供一种新的半导体激光泵浦全固态低噪声内腔倍频激光谐振腔模式。

1、由于本实用新型采用复合腔镜，腔内损耗比背景技术中腔内插入F-P标准具损耗小，因此可提高输出功率；

2、由于本实用新型采用复合腔镜抑制噪声，提高了对噪声的抑制作用，同时也提高了输出功率的稳定性。复合腔镜的加工费用低于偏振片、F-P标准具加工费用，可降低生产成本，甚至复合腔镜可利用腔内不镀抗反膜表面制成，提高生产用料的经济性。

附图说明：

图1背景技术中F-P标准具抑制噪声方式的半导体激光泵浦全固态低噪声内腔倍频激光谐振腔示意图；

图2背景技术中偏振片抑制噪声方式的半导体激光泵浦全固态低噪声内腔倍频激光谐振腔示意图；

图3本实用新型实施例1装配示意图

具体实施方式如图3所示：包括有图3半导体激光器1、耦合镜组2、激光晶体3、复合腔镜4、倍频晶体5、端面腔镜6、激光晶体支架7、复合腔镜架8、耦合镜座10、端面腔镜架9、基座11。

半导体激光器1采用808nm波长输出的半导体激光器，直接固定在基座11之中；

耦合镜组2采用自聚焦透镜，用胶固定在铝合金制成的耦合镜座10之上；

激光晶体3采用Nd：YVO₄晶体制成，其朝腔内一侧表面镀制对应激光波长的抗反膜，其基频激光波长选择1064nm、透过率T＞99.7％，而朝腔外一侧表面镀制对应基频激光波长的高反膜和对应泵光波长的抗反膜，其基频激光波长选择1064nm、反射率R＞99.7％，泵光波长808nm、透过率T＞85％；用胶固定在铝合金制成的激光晶体支架7之上；

倍频晶体5采用KTP倍频晶体制成，一侧表面镀制对应激光波长的抗反膜，其基频激光波长选择1064nm、透过率T＞99.7％，另一侧表面镀制SiO₂保护膜，镀制SiO₂保护膜表面构成复合腔镜，用胶固定在铝合金制成的复合腔镜架8之上；

端面腔镜6采用凹面腔镜结构，朝腔内凹面表面镀制对应基频激光波长的高反膜和对应倍频光波长的抗反膜，其基频激光波长选择1064nm、反射率R＞99.7％，倍频光波长532nm、透过率T＞85％；、表面可加工成球面或非球面，用胶固定在铝合金制成的端面腔镜架9上；

半导体激光器1、端面腔镜座9、复合腔镜架8、激光晶体支架7、耦合镜座10、都固定在铝合金制成的基座11之上。