[实用新型]点阵全息图制作装置中的分光合光机构无效
| 申请号： | 01235764.2 | 申请日： | 2001-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN2497344Y | 公开（公告）日： | 2002-06-26 |
| 发明（设计）人： | 李耀棠;杨世宁;张世超;范少武;王天及;黄云;陈洁芸;黄泽文 | 申请（专利权）人： | 中国科学院广州电子技术研究所 |
| 主分类号： | G03H1/04 | 分类号： | G03H1/04;G02B27/10 |
| 代理公司： | 广州知友专利代理有限公司 | 代理人： | 李海波 |
| 地址： | 510070 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 点阵 全息图 制作 装置 中的 光合 机构 | ||
1、一种点阵全息图制作装置中的分光合光机构，包括反射镜(M1)、光束分束器(BS)和反射镜(M2)，其特征在于：还包括反射镜(M3)、聚焦透镜(L3)和由马达(SM2)的皮带轮驱动的呈倒“U”形的旋转台(R)，所述反射镜(M1)位于旋转台(R)的正上方，聚焦透镜(L3)位于旋转台(R)的正下方，旋转台(R)顶盖正中设有垂直螺杆(F1)上，光束分束器(BS)垂直固定在垂直螺杆(F1)位于旋转台(R)内的一端，反射镜(M1)、光束分束器(BS)、聚焦透镜(L3)位于同一光轴；旋转台(R)正对光束分束器(BS)反射面的两侧板上设有水平螺杆(F2)、螺杆(F3)，反射镜(M2)、反射镜(M3)呈45°分别固定在水平螺杆(F2)、螺杆(F3)位于旋转台(R)内的一端。
2、根据权利要求1所述的点阵全息图制作装置中的分光合光机构，其特征在于：光束分束器(BS)是由一个分束比为50％∶50％且分束比与偏振方向无关的分光棱镜和一个全反射棱镜组成。
3、根据权利要求1所述的点阵全息图制作装置中的分光合光机构，其特征在于：光束分束器(BS)是由一个分束比为50％∶50％且分束比与偏振方向无关的分光棱镜和一个反射镜组成。
4、根据权利要求1所述的点阵全息图制作装置中的分光合光机构，其特征在于：所述旋转台(R)两侧板的水平螺杆(F2)、螺杆(F3)设在能使两干涉光束到光刻胶版等光程的位置上。
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