[实用新型]一种量程可达20万m/s2的微机械加速度传感器

权利要求书

1.一种量程可达20万m/s²的微机械加速度传感器，其特征在于：

(1)它由敏感部分的芯片和厚度比该芯片稍厚8-10微米的矩形框构成，芯片封装在框架中，并用玻璃盖板上下与其键合；

(2)敏感部分的芯片是采用薄板—岛结构，主要由锚区、支撑质量块的悬空薄板、质量块、敏感电阻组成。

2.按权利要求1所述的量程可达20万m/s²的微机械加速度传感器，其特征在于所述的薄板—岛结构中，起着弹性梁作用的薄板是单晶硅薄层，厚度为30-200微米，与传感器的量程有关。

3.按权利要求1所述的量程可达20万m/s²的微机械加速度传感器，其特征在于所述的敏感电阻设计成多条单一直线状，宽4-50微米，长度接近薄板宽度；且平行于薄板和锚区的交线，安置于薄板的根部，小部分与锚区或敏感质量块相交。

4.按权利要求1所述的量程可达20万m/s²的微机械加速度传感器，其特征在于所述的起弹性梁作用的薄板宽度与敏感质量块的宽度相同。

5.按权利要求1所述的量程可达20万m/s²的微机械加速度传感器，其特征在于所述的敏感部分的芯片中的锚区不形成封闭式框架，敏感芯片占满一个单元。

6.按权利要求1所述的量程可达20万m/s²的微机械加速度传感器，其特征在于所述的上下玻璃盖板各粘上一小片金属膜岛；当加速度上升质量块的质心正好碰到盖板上的金属膜岛，起限位作用。