[实用新型]光学微位移传感器

权利要求书

1、一种光学微位移传感器，其特征在于它包括：

镜筒[1]，设置在镜筒[1]内一端表面镀有增透膜的凸透镜[2]、另一端的干涉条纹接收器[7]；

设置在凸透镜[2]与干涉条纹接收器[7]之间表面镀有增透膜、且相互隔离的左偏振片[4]和右偏振片[6]；

设置在左偏振片[4]与右偏振片[6]之间表面镀有增透膜的双折射晶体[5]；

设置在镜筒[1]上的发光器件；

它还包括设置在凸透镜[2]与左偏振片[4]之间安装在支架[8]上与发光器件的光轴成30°～60°夹角的反射镜[9]。

2、按照权利要求1所述的光学微位移传感器，其特征在于：所说凸透镜[2]表面、双折射晶体[5]轴向端面、左偏振片[4]以及右偏振片[6]表面镀的增透膜为5～15层氟化镁；所说的双折射晶体[5]为圆柱体或横截面至少为四边形的棱柱体；所说的发光器件为激光器[3]或发光二极管。

3、按照权利要求1或2所述的光学微位移传感器，其特征在于：所说凸透镜[2]的曲率半径为2.6～26mm。

4、按照权利要求1或2所述的光学微位移传感器，其特征在于：所说的左偏振片[4]和右偏振片[6]也可以是聚合物薄片。