[实用新型]双自由度硅微振动陀螺仪

权利要求书

1、一种双自由度硅微振动陀螺仪，其特征在于上层为制作在单晶硅片上的陀螺仪机械结构，下层为制作在玻璃衬底上的信号引线和电容极板，陀螺仪上层机械结构的外框架(1)与驱动轮(5)之间设有隔离环(3)，并通过一对外扭杆(2)与外框架(1)相连，通过一对内扭杆(4)与驱动轮(5)相连，驱动轮(5)通过四根支撑梁(6)连于固定支撑柱(7)，陀螺仪下层玻璃衬底上制作有地线(10)，驱动输入信号线(11)，敏感输出信号线(12)，x轴检测电容固定极板(13)，y轴检测电容固定极板(14)，x轴反馈力矩电容固定极板(15)，y轴反馈力矩电容固定极板(16)，上层机械结构通过四根支撑梁(6)和固定支撑柱(7)悬空安装在玻璃衬底之上。

2、依据权利要求1所述的双自由度硅微振动陀螺仪，其特征在于驱动轮(5)由8组梳状静电谐振器构成，每个静电谐振器由固定梳齿(8)与活动梳齿(9)对插而成。

3、依据权利要求1或2所述的双自由度硅微振动陀螺仪，其特征在于固定支撑柱(7)与下层玻璃衬底上的固定支撑柱键合点(17)相连，固定梳齿(8)与下层玻璃衬底上的固定梳齿键合点(18)相连。