[实用新型]一种具有圆环状压电陶瓷多层膜结构的加速度传感器

权利要求书

1.一种具有圆环状压电陶瓷多层膜结构的压电加速度传感器，包括质量块和传感器底座、压电陶瓷引线，其特征在于：敏感元件为圆环状压电陶瓷多层膜结构；压电加速度器的结构不变。

2.按权利要求1所述的圆环状压电陶瓷多层膜结构的压电加速度传感器，其特征在于圆环状的外径为8～10mm，内径为3～4mm，厚度为70～150μm，圆环状叠加而成，最佳厚度为2mm；层数与每层圆环状厚度有关，每层的厚度越小则层数越多。

3.按权利要求1所述的圆环状压电陶瓷多层膜结构的压电加速度传感器，其特征在于圆环状多层膜之间的电极采用叉指型电极方式引出的。

4.按权利要求1所述的圆环状压电陶瓷多层膜结构的压电加速度传感器，其特征在于所述的圆环状多层膜结构片式压电陶瓷是用陶瓷粉体流延成型工艺和内电极共同烧制而成的，内含多层压电陶瓷。