[实用新型]电子冷挡板

说明书

本实用新型属真空设备器件。

目前在真空设备使用油扩散泵或油封式机械真空泵的真空系统中，阻止扩散泵油或机械泵油的油蒸汽返流，不扩散到设备工作室污染产品，主要是用机械挡板、水冷档板、液态氮冷挡板，及蒸发式制冷挡板，机械挡板和水冷挡板的冷却温度只能在0℃以上，阻挡油蒸汽返流的效果一般。蒸发式制冷挡板的冷却温度在0℃以下，阻挡油蒸汽返流的效果好，但要用一套氟里昂制冷系统，安装，使用及维护都要仔细，占地面积较大，投资较高。液态氮冷挡板的冷却温度可达-193℃，阻挡油蒸汽返流的效果很好，但存在使用不便和使用成本高的缺点。

本实用新型的目的在于采用了半导体制冷器件，提供一种阻挡油蒸汽返流的效果可与蒸发式制冷挡板相当而成本低安装简单，使用方便的电子冷挡板。

本实用新型的技术方案如图1所示，外壳1分左右两端相同，中间安有挡油板组件4，在档油板组件4的两端安有半导体制冷器件3，其冷端与挡油板组件4紧贴，而热端与散热器组件2连接，紧贴盖板5并把埋有密封垫10的外壳1的左右两部分连接在一起使构成周围全密封的整件，外壳1的上下两端面与真空系统相连接，安在油扩散泵上方。挡油板组件4由多片表面光滑的金属板间隔叠置而成，金属板可制成(＞)型或是上下两层错位的百叶窗型，也可是截头环锥型，主要是使油蒸汽充分地接触到挡油板组件4而冷凝成液体，返流到油扩散泵中，半导体制冷器件3采用单级、双级或多级均可，按需要用一个或多个。散热器组件2与半导体制冷器件3的热端相连，降低热端的温度，使冷端的冷却效果更好。对散热器组件2的冷却，可以用水冷、液冷、热管冷却等多种方式。若散热器组件2是采用风冷的，则散热器组件2与盖板5合为一体，表面需加散热片及轴流风机13。测温头6安装在挡油板组件4的金属板上，以便测量出的金属板温度反馈在测温计7上，便于控制。控温元件9是控制散热器组件2的表面温度情况，一旦超过设计温度，即能自动切断电源，使半导体制冷器件3停止工作，同时发出报警信号。由半导体器件3的电源线，测温头6，测温计7，控温元件9等连线组成的电缆线8与总控的电缆线连接。

图示说明

图1：电子冷挡板结构原理示意图。a、主视剖视图b、俯视剖视图

图2：半圆半方形外壳电子冷挡板结构示意图。

图3：圆形外壳电子冷挡板结构示意图。

图4：方形外壳的电子冷挡板结构示意图。

1、外壳；2、散热器组件；3、半导体制冷器件；4、挡油板组件；5、盖板；6、测温头；7、测温计；8、电缆线；9、控温元件；10、密封垫；11、水接头；12、真空测量接头；13、轴流风机。

本实用新型有多种设计方案，除了图1所示的带有过渡接管的方形外，还有如图2所示的半圆半方形外壳，采用单级多个半导体制冷器件3，(＞)型的挡油板组件4，外壳一边是半圆形，另一边是矩形，外壳上端没有过渡管道，由法兰盘与真空系统连接，强迫风冷散热，安有轴流风机13。图3外壳是圆型的，盖板5也是呈圆形法兰形状与外壳1连成整体，除外壳1以外的其它组件均安装在圆形盖板5上。挡油板组件4采用两层错位的百叶窗型，散热器组件2用环形水冷式，由法兰盘与真空系统连接，此种样式适于大口径真空系统。图4是方形外壳水冷式的，其半导件制冷器件3设置在真空区域之外，这样可避免半导体制冷器3在运作过程中的微量放气对真空系统产生影响。本实用新型外壳可根据需要选用，也可以改变，对不同的需要，内部结构也可以采用不同的组合来满足各种真空系统要求。本实用新型的主要结构组件都固定在盖板5上，方便拆卸或安装。本实用新型挡油板组件4上的温度能达到-5℃～-25℃，阻挡油蒸汽返流的效果与蒸发式制冷挡板的效果相当，且无氟里昂的污染和压缩机的噪音，结构简单、成本低、安装，使用，维护方便、使用寿命长，可靠性好。