[发明专利]有源驱动的有机EL发光装置及其制造方法

权利要求书

1.一种有源驱动的有机EL发光装置，包括：

一有机EL元件，其包括在上电极和下电极之间的有机发光介质；和

一用于驱动该有机EL元件的薄膜晶体管；

其中从该有机EL元件发出的光是从上电极的一侧输出的；并且

该上电极包括由透明导电材料形成的主电极，以及由低电阻材料形成的辅助电极。

2.如权利要求1的装置，还包括电开关，它包括薄膜晶体管和用于选择象素的晶体管，以及

用于驱动该电开关的信号电极行和扫描电极行。

3.如权利要求1或2的装置，其中该透明导电材料是选自以下组中的至少一种材料，包括导电氧化物、可透过光的金属薄膜、非简并的半导体、有机导体和半导的碳化合物。

4.如权利要求3的装置，其中有机导体是选自以下组中的至少一种材料，包括导电的共轭聚合物、加有氧化剂的聚合物、加有还原剂的聚合物、加有氧化剂的低分子和加有还原剂的低分子。

5.如权利要求3的装置，其中非简并半导体是选自以下组中的至少一种材料，包括氧化物、氮化物和硫属(calchogenide)化合物。

6.如权利要求3的装置，其中碳化合物是选自以下组中的至少一种材料，包括无定形碳、石墨和类似金刚石的碳。

7.如权利要求1-6中任一所述的装置，其中多个辅助电极被规则地设置在一平面内。

8.如权利要求1-7中任一所述的装置，其中辅助电极的截面形状是悬臂形。

9.如权利要求1-8中任一所述的装置，其中辅助电极包括下辅助电极和上辅助电极。

10.如权利要求9的装置，其中下辅助电极和上辅助电极包括具有不同蚀刻速率的构成材料。

11.如权利要求9或10的装置，其中辅助电极的下辅助电极和上辅助电极或其中之一被电连接至主电极。

12.如权利要求1-11任一所述的装置，其中辅助电极在构成有机EL元件的中间层绝缘体上形成。

13.如权利要求1-12任一所述的装置，其中辅助电极在用于电绝缘下电极的电绝缘膜上形成。

14.如权利要求1-12任一所述的装置，其中辅助电极在用于电绝缘薄膜晶体管的电绝缘膜上形成。

15.如权利要求1-14任一所述的装置，其中该薄膜晶体管的有源层包括多晶硅。

16.如权利要求1-15任一所述的装置，其中中间层绝缘体在薄膜晶体管上形成，有机EL元件的下电极在该中间层绝缘体上沉积，而且薄膜晶体管和下电极彼此通过在中间层绝缘体中形成的通路孔而电连接。

17.如权利要求1-16任一所述的装置，其中电荷从辅助电极向主电极注入，并平行于基片的主表面传送，随后，电荷被注入有机发光介质中。

18.如权利要求1-17任一所述的装置，其中主电极的片电阻率被设定为1K-10MΩ/□范围内的值。

19.如权利要求1-18任一所述的装置，其中辅助电极的片电阻率被设定为0.01-10Ω/□范围内的值。

20.如权利要求1-19任一所述的装置，还包括用于对所输出的光进行颜色转换的荧光薄膜和彩色滤色片或它们其中之一，被设置在上电极的侧面。

21.如权利要求1-20任一所述的装置，其中黑色基质在彩色滤色片或荧光薄膜的一部分上形成，且该黑色基质和辅助电极在竖直方向上彼此叠加。

22.如权利要求1-21任一所述的装置，其中辅助电极在主电极上形成，且辅助电极的面积小于主电极的面积。

23.如权利要求1-21任一所述的装置，其中辅助电极被嵌入环绕其周围的密封件中。

24.如权利要求1-21任一所述的装置，其中辅助电极被紧密地设置在密封件和主电极之间。

25.一种用于制造有源驱动的有机EL发光装置的方法，其中该装置包括在上电极和下电极之间具有有机发光介质的有机EL元件，以及用于驱动该有机EL元件的薄膜晶体管，所述方法包括以下步骤：

形成有机EL元件；以及

形成薄膜晶体管；

其中在形成有机EL元件的步骤中，形成下电极和有机发光介质，随后由透明导电材料形成主电极，和通过形成由低电阻材料制成的辅助电极形成上电极。