[发明专利]适用于分段像观察装置的图案形成部件和分段像观察装置

权利要求书

1.一种适用于分段像观察装置的图案形成部件，选择地向试样照射来自光源的光，对所述试样进行扫描，取得来自所述试样的光，将其作为分段像，其特征在于，所述图案形成部件包括照射部和遮光部，将所述照射部和所述遮光部的各自的图案形成为直线状，并交互配置这些直线状图案。

2.根据权利要求1所述的适用于分段像观察装置的图案形成部件，其特征在于，所述图案形成部件是具有所述照射部透过光的透光部和所述遮光部遮蔽光的遮光部的旋转盘，在光路上使所述旋转盘旋转，将用透过所述旋转盘的光对所述试样进行扫描的各个图案形成为直线形，同时交互配置这些直线形图案。

3.根据权利要求2所述的适用于分段像观察装置的图案形成部件，其特征在于，在所述旋转盘的所述透光部和遮光部的直线形图案在观察视场内与旋转盘的旋转产生的扫描方向(H方向)平行的部分中，形成遮光区域。

4.一种适用于分段像观察装置的图案形成部件，在光路上使具有透过光的透光部和遮蔽光的遮光部各自图案的旋转盘旋转，在对试样扫描透过所述旋转盘的光的同时，取得来自所述试样的光，将其作为透过所述旋转盘的分段像，其特征在于，在将所述透光部和遮光部各自的图案形成为直线形的同时，交互配置这些直线形的图案，并且，形成方向不同的所述透光部和遮光部的直线形图案区域，使这些直线形的图案与在观察视场内旋转盘的旋转产生的扫描方向(H方向)不平行。

5.根据权利要求4所述的适用于分段像观察装置的图案形成部件，其特征在于，所述直线形图案的区域由在旋转盘的圆周方向上分割为多个的扇形区域构成。

6.根据权利要求4所述的适用于分段像观察装置的图案形成部件，其特征在于，所述直线形图案中，在与观察视场内旋转盘的旋转产生的扫描方向(H方向)平行的部分内，具有形成与该直线形图案方向不同的规定的中心角扇形的其它透光部和遮光部的直线形图案区域。

7.根据权利要求2至6之一所述的适用于分段像观察装置的图案形成部件，其特征在于，将所述遮光部的直线形图案的宽度尺寸设定为比所述透光部的直线图案的宽度尺寸大。

8.根据权利要求1所述的适用于分段像观察装置的图案形成部件，其特征在于，所述图案形成部件是二维地排列多个可在各个方向变化的多个镜子的数字微型镜子。

9.根据权利要求2所述的适用于分段像观察装置的图案形成部件，其特征在于，具有遮蔽所述光的直线部宽度和透过所述光的直线部宽度的比率不同的多个区域。

10.根据权利要求9所述的适用于分段像观察装置的图案形成部件，其特征在于，还具有所述旋转盘的直线形图案透光部和遮光部的方向不同的多个区域。

11.根据权利要求10所述的适用于分段像观察装置的图案形成部件，其特征在于，所述旋转盘是旋转盘的旋转半径方向与所述直线形透光部和遮光部的图案方向不垂直的旋转盘。

12.根据权利要求9至11的任一项所述的适用于分段像观察装置的图案形成部件，其特征在于，所述旋转盘的遮蔽光部分的直线部宽度比透过光的直线部宽度大。

13.根据权利要求9至12的任一项所述的适用于分段像观察装置的图案形成部件，其特征在于，所述旋转盘的透过光部分的直线部宽度是一定的。

14.根据权利要求2所述的适用于分段像观察装置的图案形成部件，其特征在于，所述旋转盘分割成多个区域，所述各区域的图案不同。

15.根据权利要求14所述的适用于分段像观察装置的图案形成部件，其特征在于，所述多个区域的图案的所述透光部和所述遮光部的面积比相等，并且，所述每个区域中所述透光部和所述遮光部的尺寸宽度不同。

16.根据权利要求14所述的适用于分段像观察装置的图案形成部件，其特征在于，当将具有所述旋转盘的一定宽度的不同方向区域的宽度作为X，透光部和遮光部的周期作为W时，X/W为一定值。