[发明专利]缺陷检测装置

权利要求书

1、一种缺陷检测装置，其特征在于包括：

被检测体；

照明部，相对于该被检测体倾斜规定角度而配置，并照射照明光；

摄像部，相对于上述被检测体倾斜规定角度而配置，并对由上述照明部所照明的上述被检测体发出的衍射光进行摄像；

角度控制部，用于改变上述照明部及前述摄像部中至少一方的倾斜角度；

图像处理部，按由该角度控制部改变的各倾斜角度，通过上述摄像部取入从上述被检测体发出的衍射光，并且求出对应于该衍射光的各倾斜角度的亮度值；

判断部，根据由该图像处理部所求得的倾斜角度和亮度值的关系，判断最适合对衍射光进行观测的n次光；及

角度控制部，根据该判断部的判断结果，对上述照明部及摄像部中至少一方的倾斜角度进行设定。

2、如权利要求1记载的缺陷检测装置，其特征在于：

上述角度控制部对于在2个部位以上设定的对上述被检测体的照明光的各照射位置，改变上述照明部及上述摄像部中至少一方的倾斜角度。

3、如权利要求1记载的缺陷检测装置，其特征在于：

上述角度控制部对于与上述被检测体上的规定区域对应所设定的照射位置，改变上述照明部及上述摄像部中至少一方的倾斜角度。

4、如权利要求3记载的缺陷检测装置，其特征在于包括：

显示部，用于显示由上述摄像部所摄像的上述被检测体的图像；及输入部，用于在该显示部所显示的图像上对上述规定区域指定上述照射位置。

5、如权利要求1记载的缺陷检测装置，其特征在于：

上述判断部在表示上述倾斜角度和亮度值间关系的曲线图中，判断最适合观察亮度值第2高的衍射光的1次光位置。

6、如权利要求1记载的缺陷检测装置，其特征在于：

当由上述判断部未判断出最适合对衍射光观察的n次光时，设定在预先所存储的基准倾斜角度上。

7、如权利要求1记载的缺陷检测装置，其特征在于：

当由上述判断部未判断出最适合衍射光观察的n次光时，根据表示上述倾斜角度和亮度值间关系的曲线图指定最适合观察的n次光位置。

8、如权利要求1记载的缺陷检测装置，其特征在于：

在表示上述倾斜角度和亮度值间关系的曲线图上，具有显示上述被检测体图形间距的显示部。

9、如权利要求8记载的缺陷检测装置，其特征在于：

上述显示部在上述曲线图上显示用于指定倾斜角度的指标。

10、如权利要求9记载的缺陷检测装置，其特征在于：

上述显示部根据上述指标，显示对应的图形间距。

11、如权利要求1记载的缺陷检测装置，其特征在于：

具有显示部，用于显示表示与由上述摄像部所摄像的上述被检测体图像上多个规定区域分别对应的上述倾斜角度和亮度值间关系的各曲线图。

12、如权利要求1记载的缺陷检测装置，其特征在于：

具有移送控制部，用于对放置上述被检测体的载物台进行往复移送控制；

上述摄像部在通过上述移送控制部使上述载物台向往路径移送时，对从上述被检测体发出的衍射光进行摄像，而在使上述载物台向复路径移送时对从上述被检测体发出的干涉光进行摄像。

13、如权利要求1记载的缺陷检测装置，其特征在于：

上述照明部照射线状的照明光。

14、如权利要求1记载的缺陷检测装置，其特征在于：

上述照明部照射面状的照明光。

15、如权利要求1记载的缺陷检测装置，其特征在于：

上述照明部照射点状的照明光。

16、如权利要求1记载的缺陷检测装置，其特征在于：

上述摄像部对由上述照明部所照明的上述被检测体发出的散射光进行摄像。