[发明专利]透孔检查方法及装置无效
申请号: | 01800707.4 | 申请日: | 2001-03-29 |
公开(公告)号: | CN1153058C | 公开(公告)日: | 2004-06-09 |
发明(设计)人: | 齐藤干男;后藤登;石川俊明 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G01N21/94 | 分类号: | G01N21/94;G01M11/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 马铁良;叶恺东 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检查 方法 装置 | ||
【说明书】:
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