[发明专利]离子溅射泵

权利要求书

1.一种离子溅射泵，在真空容器内设置有阳极和阴极，通过在两电极间加上高电压，在磁场的作用下使电子做螺旋运动，残留气体分子与螺旋运动着的电子相碰撞而被离子化，溅射阴极，吸附到阳极的表面等上，从而进行排气，其特在于，真空容器壁筒状部分的横截面形状作成凹凸形状，在该凹凸横截面形状筒状部分的外侧各凹部中朝着同一个磁极方向地分别设置具有同一形状、同一特性的永久磁铁，在该凹凸横截面形状筒状部分的内侧各凹部与真空容器壁离开地分别设置筒状的阳极，将真空容器壁的筒状部分作为阴极，在真空容器内，使周围上开有排气孔的筒状磁屏蔽部件与上述多个永久磁铁及多个阳极同心状地配置，并且分别轴对称、等间距地排列上述这些多个永久磁铁及多个阳极。

2.如权利要求1所述的离子溅射泵，其特征在于，在真空容器周围部分外侧的各个凹部中设置的永久磁铁是与真空容器的中心轴线方向垂直的横截面为向外扩大的楔形的柱状体。

3.如权利要求1所述的离子溅射泵，其特征在于，在真空容器周围部分外侧的各个凹部中设置的永久磁铁是与真空容器的中心轴线方向垂直的横截面为向外扩大的楔形的多角形柱状体。

4.如权利要求1所述的离子溅射泵，其特征在于，在真空容器周围部分外侧的各个凹部中设置的永久磁铁是与真空容器壁的中心轴线方向垂直的横截面为向外扩大的楔形的圆形柱状体。

5.如权利要求1所述的离子溅射泵，其特征在于，在真空容器周围部分内侧的各个凹部中设置的阳极是在真空容器中心轴线方向的投影图为向外扩大的楔形的圆筒状。

6.如权利要求1所述的离子溅射泵，其特征在于，在真空容器周围部分内侧的各个凹部中设置的阳极是在真空容器中心轴线方向的投影图为向外扩大的楔形的多边形筒状体。

7.如权利要求1所述的离子溅射泵，其特征在于，真空容器周围部分的外侧及内侧的凹部交替地被排列着、多个永久磁铁及多个阳极被交替排列着。

8.如权利要求1所述的离子溅射泵，其特征在于，至少设有设置多个永久磁铁及多个阳极的凹部的真空容器的周围部分及磁屏蔽部件是圆筒形，多个永久磁铁和多个阳极基本轴对称地排列在同一个圆周上。

9.如权利要求1所述的离子溅射泵，其特征在于，在真空容器内设置的磁屏蔽部件为多边形的筒状体。