[发明专利]控制电化学加工工艺的方法

权利要求书

1.控制电化学加工导电性工件的工艺的方法，工艺包括

当在工件和电极之间提供电解液时，在工件和导电性电极间施加电流，控制方法包括

测量由电流诱发的电压，以及

根据所测电压修改至少一个工艺控制参数，其特征在于，

在电化学加工工艺过程中在预定的测量周期内决定有与所测电压的频谱组成有关的信息以及

按照所述信息修改至少一个工艺控制参数。

2.按权利要求1的方法，其中所述信息包括表示所测电压的至少一个频率分量或至少一个频率分量范围的至少一个幅度。

3.按权利要求2的方法，其中所述信息包括表示在预定的测量周期内由所测电压构成的波形的至少一个谐波频率的幅度。

4.按权利要求3的方法，其中方法包括将预定的测量周期内的波形展开为三角函数的傅里叶级数，并且其中所述幅度对应于所述级数的傅里叶系数Ck。

5.按权利要求4的方法，其中方法包括决定所述傅里叶级数的谐波的第一项的傅里叶系数Ck的符号，并且将特定的工艺条件分配给傅里叶系数的至少一个特定组合，傅里叶系数指出没有或存在相应的谐波，并且在存在的情况下，指出相应谐波的相对符号。

6.按权利要求5的方法，其中方法包括将较低电流密度的第一工艺条件分配给没有傅里叶系数Ck的第一连续项的情况。

7.按权利要求5的方法，其中方法包括将在电解液中存在充有气体的空腔的第二工艺条件分配给存在具有相互交替的符号的连续的傅里叶系数Ck的第二项的情况。

8.按权利要求5的方法，其中方法包括将较高电流密度的第三工艺条件分配给具有相互一致符号的连续傅里叶系数Ck的第三项的情况。

9.按权利要求2的方法，其中所述信息包括表示大于预定的频率的频率分量范围的幅度和在预定的测量周期内幅度基本上变化的情况下修改至少一个工艺控制参数。

10.按权利要求9的方法，其中所述信息包括预定的时间间隔间的所述幅度的运行平均值。

11.按权利要求1的方法，其中至少一个工艺控制参数涉及从连续施加电流向断续施加电流改变。

12.按权利要求11的方法，其中

在连续施加电流的过程中，电极和工件以基本上恒定的速度彼此相对运动以及

在断续施加电流的过程中，电极和工件以振荡的方式或以叠加在线性运动上的重复的方式彼此相对运动，同时在或接近由工件和电极间振荡或重复的距离诱发的最小相互距离的时刻施加电流。

13.按权利要求12的方法，其中在相对振荡或重复运动的过程中当工件和电极间的相对距离小时，施加断续施加的电流脉冲序列。

14.按权利要求1的方法，其中施加电流包括以脉冲状周期断续施加具有正常极性的电流脉冲，至少一个工艺控制参数控制附加地施加至少一个或多个具有反向极性的电流脉冲。

15.按权利要求1的方法，其中施加电流包括以脉冲状周期断续施加具有正常极性的电流脉冲，至少一个工艺控制参数控制附加地施加具有相同的极性的电流钝化脉冲但电压具有的幅度不足以溶解工件和工件上的钝化膜。

16.按权利要求1的方法，其中至少一个工艺控制参数控制以一个或多个脉冲状周期以导致电极被清洗淀积废物的反向极性断续施加电极清洗电流。

17.按权利要求16的方法，其中电极和工件以重复运动彼此相对运动，施加电流包括当工件和电极间的距离较小时断续施加电脉冲，电极和工件的相应位置通过首先将工件和电极彼此相互接触并施加测量电流而不是加工电流以决定接触决定，至少一个工艺控制参数控制在将工件和电极接触前施加一个或多个电极清洗脉冲。

18.按权利要求1的方法，其中电极和工件以重复运动彼此相对运动，施加电流包括当工件和电极间的距离较小时以脉冲状周期断续施加电脉冲，至少一个工艺控制参数控制改变脉冲状周期的持续时间。

19.按权利要求1的方法，其中脉冲状周期的持续时间缩短至比在电解液中形成气体泡所需要的形成晶种的时间小的数值。