[发明专利]制造旋转对称的石英玻璃坩埚的方法和装置

权利要求书

1、一种制造旋转对称的石英玻璃坩埚的方法，其中借助一个由一个或多个阳极和一个阴极构成的电极结构产生了电弧并由此加热在这种情况下转动的石英玻璃坩埚的壁或其局部，其特征在于，通过至少另一个由一个或多个阳极(9)和一个阴极(10)构成的电极结构(8)形成另一道电弧，由此加热了石英玻璃坩埚(2)壁的另一个部分。

2、如权利要求1所述的方法，其特征在于，通过电极结构来加热在石英玻璃坩埚转动轴线方向上相互间隔的一些壁部。

3、一种通过借助一个被设置用于产生电弧的且由一个或多个阳极和一个阴极构成的电极结构来分段加热而制造旋转对称的石英玻璃坩埚的装置，其中该石英玻璃坩埚可以绕其转动轴线转动，其特征在于，该装置(5)除了第一电极结构(7)外还配备有由一个或多个阳极(9)和一个阴极(10)构成的第二电极结构(8)，使第二电极结构接近一个与第一电极结构(7)背对的石英玻璃坩埚(2)局部(15)。

4、如权利要求3所述的装置，其特征在于，电极结构(7，8)被设置在一些在石英玻璃坩埚转动轴线方向上相互间隔的位置上。

5、如权利要求3或4所述的装置，其特征在于，电极结构(7，8)可以彼此无关地移动。

6、至少如权利要求3-5之一所述的装置，其特征在于，电极结构被布置成(7，8)相对石英玻璃坩埚(2)的外周是均匀分布的。

7、至少如权利要求3-6之一所述的装置，其特征在于，至少一个电极结构(7，8)配设有一个二氧化硅颗粒供料机构，而至少另一个电极结构(7，8)只被设置用于加热。