[发明专利]具有交替极化区域的声波器件

权利要求书

1、一种声波器件，包括铁电材料层(C)和基片(S)，其特征在于，铁电材料层位于淀积在基片的表面上或者是基片的组成部分的第一电极(E₁)和第二电极(E₂)之间，铁电材料层包括正的第一极化区域(D₁)和负的第二极化区域(D₂)。

2、如权利要求1所述的声波器件，其特征在于，第二电极淀积在铁电材料层的表面上。

3、如权利要求1所述的声波器件，其特征在于，它包括一个位于基片上的盖(CL)，所述盖具有第二电极，以便在所述第二电极和铁电材料层之间形成一个空间。

4、如权利要求3所述的声波器件，其特征在于，所述盖能够从铁电材料层上取下。

5、如权利要求1至4任一所述的声波器件，其特征在于，它包括非极化的第三区域(D₃)，以便影响声波的方向性。

6、如权利要求1至5任一所述的声波器件，其特征在于，它包括一系列具有第一区域和第二区域的线性区域。

7、如权利要求6所述的声波器件，其特征在于，所述一系列线性区域还包括非极化区域。

8、如权利要求1至5任一所述的声波器件，其特征在于，它包括第一区域和第二区域的矩阵布置。

9、如权利要求8所述的声波器件，其特征在于，它还包括非极化区域。

10、如权利要求1至9任一所述的声波器件，其特征在于，铁电材料是铅钛锆氧化物。

11、如权利要求10所述的声波器件，其特征在于，铁电材料是铂/钛合金。

12、如前述任一权利要求所述的声波器件，其特征在于，基片由硅制成。

13、如前述任一权利要求所述的声波器件，其特征在于，第二电极由铝制成。

14、如权利要求10至13任一所述的声波器件，其特征在于，它包括至少一个电极，其表面是由满足等式y＝f(x)的两个参数限定的，其中f是一个实函数。

15、如权利要求10至13任一所述的声波器件，其特征在于，在铁电材料层的平面中的空间极化分布遵循一个几何定律，使得所形成的极化表面是由满足等式y＝(x)的两个参数限定的，其中f是一个实函数。

16、一种用于制造如权利要求1至15任一所述的表面波器件的方法，其特征在于，它包括如下步骤：

在具有第一电极的基片表面上形成铁电材料层；

通过施加一个比铁电材料的矫顽场大的电场在铁电材料层中形成正、负极化区域，铁电材料的极性决定区域的极化方向；以及

与铁电材料相对地形成第二电极。

17、如权利要求16所述的用于制造表面波器件的方法，其特征在于，第二电极形成在铁电材料层的表面上。

18、如权利要求16所述的用于制造表面波器件的方法，其特征在于，第二电极由固定到基片上的盖支撑。