[发明专利]具有波长选择性的光学元件

权利要求书

1.一种具有波长选择性的光学元件，其特征在于：

一个透镜阵列，具有一个端面和多个设在此一端面上的透镜(L1-L8)；和

一个多层膜滤波器(13)，形成在该透镜阵列的所述一个端面(14)上，包括交替地层叠的高折射率介电层和低折射率介电层，其膜厚根据单个透镜的位置而连续改变。

2.如权利要求1所述的光学元件，其特征在于，所述多个透镜沿着从透镜阵列所述一个端面的第一端朝向第二端的直线加以对准，多层膜滤波器的膜厚从该第一端向该第二端线性改变。

3.如权利要求1或2所述的光学元件，其特征在于，所述透镜阵列为包含有多个棒状透镜的棒状透镜阵列。

4.如权利要求1或2所述的光学元件，其特征在于，所述透镜阵列为梯度折射率平面微透镜(50，60)，包含有单个基板(59，69)和多个以直线形式形成在该基板上的微透镜(51-56，61-66)。

5.如权利要求4所述的光学元件，其特征在于，所述多个微透镜(61-66)从基板上突出。

6.如权利要求1至5任一所述的光学元件，其特征在于，所述透镜阵列具有与所述一个端面相对的另一端面(24)；并且

所述光学元件还具有形成在该另一端面上的发光装置(30)，用于通过透镜阵列的单个透镜向多层膜滤波器发出光束。

7.如权利要求6所述的光学元件，其特征在于，所述发光装置与透镜阵列集成为一体。

8.如权利要求6或7所述的光学元件，其特征在于，所述发光装置包括多个与透镜阵列的单个透镜相关联设置的光源(LD1-LD8)。

9.如权利要求1至5任一所述的光学元件，其特征在于，所述透镜阵列具有与所述一个端面相对的另一端面；并且

该光学元件还具有多个形成在所述另一端面上的光接收元件(PD1-PD8)，用于分别接收通过所述透镜阵列的单个透镜由多层膜滤波器对入射光进行解复用而获得的具有不同中心波长的多个光信号。

10.如权利要求9所述的光学元件，其特征在于，所述多个光接收元件与所述透镜阵列集成为一体。

11.一种制造具有波长选择性的光学元件的方法，其特征在于：

制备一个透镜阵列(12)的步骤，其中该透镜阵列具有一个端面和多个设在此一端面上的透镜(L1-L8)；和

通过物理气相淀积方法在该透镜阵列的所述一个端面上直接形成多层膜滤波器的步骤，其方式使得其膜厚根据所述多个单独透镜的位置而连续改变。

12.如权利要求11所述的光学元件制造方法，其特征还在于：

在形成所述多层膜滤波器的步骤之前设置所述透镜阵列的步骤，其方式使得该透镜阵列的所述一个端面相对于蒸发源或靶倾斜。

13.如权利要求12所述的光学元件制造方法，其特征还在于：

在形成所述多层膜滤波器的步骤之前，在所述透镜阵列与所述蒸发源或靶之间设置一个具有大致梯形开口部分(71)的膜厚校正板(70)的步骤。