[发明专利]体声波器件

权利要求书

1.一种体声波器件，该器件包括：

一层或多层形成在基板上的声反射器层；

在所述声反射器层或各声反射器层上形成的下电极；

在所述下电极上形成的压电层；和

在所述的压电层上方形成至少三个上电极，每一个上电极至少部分地覆盖下电极，并由位于其下的压电层部分及下电极定出共振器元件，其中所述上电极横向地被间隔，使得施加在所述上电极和所述下电极间的处于该器件共振频率的电信号，通过压电层部分之间的声偶合而被偶合到其他的共振器元件，并且其中这些上电极被布置成有两个外上电极和至少一个内上电极，其中该内上电极或每一个内上电极与下电极电连接。

2.按照权利要求1的器件，其中每一个共振器的中心频率位于相同的共振频率。

3.按照权利要求1或2的器件，其中该内上电极或每一个内上电极和该下电极被连接到一个公共的电位。

4.按照权利要求3的器件，其中该公共电位是地电位。

5.按照上述任何一项权利要求的器件，其中该横向分隔开的上电极的间隔在0.5与2.0微米之间。

6.按照上述任何一项权利要求的器件，其中所选压电层的厚度为二分之一声波波长，该声波频率为该器件的共振频率。

7.按照上述任何一项权利要求的器件，其中压电层是从ZnO、AIN、PZT、和PLZT的一组材料中选出的一种材料制成。

8.按照上述任何一项权利要求的器件，其面积为100至10,000平方微米之间。

9.按照上述任何一项权利要求的器件，其中该一个声反射器层或更多声反射器层是或由多孔二氧化硅制成。

10.一种射频带通滤波器，该带通滤波器包括如上述任何权利要求所要求的器件。

11.一种射频接收机/或发射机，该接收机/或发射机包括如权利要求10所要求的带通滤波器。

12.一种设计体声波器件的方法，该体声波器件有两个外共振器和至少一个内共振器，每一个共振器相对于一个相邻共振器或那些相邻共振器被横向间隔开，每一个共振器有上电极、下电极和插入其中的压电层，该方法包括步骤：

确定最佳的上电极宽度，用于对处于该电极范围内振荡的单模进行能量吸收；

确定所选滤波器类型的归一化低通原型值，并由此确定该外共振器的加载品质因数；

根据外共振器的加载品质因数确定滤波器外上电极所需面积；

根据这些面积和用于对单模进行能量吸收的最佳电极宽度，计算每一个外电极的长度；

从归一化低通原型值，根据前面所确定的偶合系数和内共振器间隔之间关系，确定内共振器偶合系数，然后确定这些共振器之间的间隙宽度。

13.按照权利要求12的方法，该方法还包括步骤：

采用该滤波器的完全二维场模型调整该共振器和间隙宽度使得该滤波器的响应得以优化。