[发明专利]外观检查用投光装置

说明书

技术领域

本发明涉及用于液晶玻璃基板等大型基板的外观检查的外观检查用投光装置。

背景技术

以往，为了将液晶显示器的玻璃基板的质量保持在稳定的状态，基板上的抗蚀剂等膜厚的不匀或ITO膜上的针孔等的外观检查、以及基板上被印刷的图形的不齐或不匀、或基板表面上附着的灰尘或损伤等的外观检查是极其重要的。在这样的基板的外观检查中，使用着披露于(日本)特开平5-232040号公报、特开平5-232032号公报、特开平9-273996号公报、特开2000-97864号公报中的外观检查用投光装置。

图7是表示披露于特开平5-232032号公报中的外观检查用投光装置的概略结构的图。在图7所示的外观检查用投光装置中，进行玻璃基板上的抗蚀剂等膜厚的不匀或ITO膜上的针孔等外观检查。

在光源101的背部中配置椭圆旋转镜102。来自光源101的照明光由椭圆旋转镜102反射，通过红外线吸收滤光器103聚集在闸门104上。进而，照明光通过滤光器105入射到聚光用菲涅耳透镜106上，被限制为平行光束。在由该聚光用菲涅耳透镜106限制的平行光束中，将作为被检查部件的玻璃基板107相对于光轴具有规定的角度来配置。

在构成这样的结构的外观检查用投光装置中，均匀地照明玻璃基板107的表面，观察者108可以通过目视来观察从玻璃基板107的表面产生的微小的散射光。由此，检测出玻璃基板107上的抗蚀剂等膜厚的不匀、ITO膜上的针孔等缺陷部109。

图8是表示披露于特开平5-232032号公报中的外观检查用投光装置的概略结构的图。在图8中，对于与图7相同的部分附以相同标号。在图8所示的外观检查用投光装置中，可进行在玻璃基板上印刷的图形的不齐或不匀、或者基板表面上附着的灰尘或损伤等的外观检查。

在图8中，除了图7的结构以外，在由聚光用菲涅耳透镜106限制的平行光束中，还配置投光用菲涅耳透镜110。在该投光用菲涅耳透镜110产生的光束的聚束位置A前面的光路中，将被检查部件的玻璃基板107相对于光轴具有规定的角度来配置。

在构成这样的结构的外观检查用投光装置中，均匀地照明玻璃基板107的表面，观察者108在从玻璃基板107的反射光的聚束位置S附近可以通过目视来观察从玻璃基板107的表面产生的微小的散射光。由此，可检测出在玻璃基板107上印刷的图形不齐或不匀、或者玻璃基板107表面上附着的灰尘或损伤等缺陷部111。

但是，目前，液晶显示器有日益大型化的趋势。随着这种趋势，用于液晶显示器的玻璃基板也被大型化，达到1000mm×1200mm的尺寸。

然而，即使构成上述结构的任何一个外观检查用投光装置，在玻璃基板大型化时，也需要与该玻璃基板的尺寸同等以上的聚光用菲涅耳透镜106或投光用菲涅耳透镜110。因此，这些聚光用菲涅耳透镜106或投光用菲涅耳透镜110有日益大型化的趋势。

在现有技术中，透镜直径增大到必要以上，制作上难以将透镜性能保持一定，因此也难以均匀地照明在玻璃基板107上。因此，存在使大型基板的外观检查的可靠性下降的问题。而且，如果使用大型的聚光用菲涅耳透镜106或投光用菲涅耳透镜110，那么要不产生因自重造成的透镜的挠曲变位，则难以安装在装置上，而且还产生避免不了装置大型化这样的问题。

本发明的目的在于提供一种小型的外观检查用投光装置，对于大型的被检查部件可以均匀地照明整体。

发明的内容

(1)本发明的外观检查用投光装置包括：照明光源；反射光学系统，使来自该照明光源的光向被检查部件反射；以及聚光光学系统，配置在该反射光学系统的反射光路上；其中，所述聚光光学系统至少被分成2个部分，通过来自这些被分割的各聚光光学系统的照明光束能够照射所述被检查部件的整个表面。

(2)本发明的外观检查用投光装置是上述(1)所述的装置，并且来自所述各聚光光学系统的照明光束分别照射所述被检查部件的部分区域。

(3)本发明的外观检查用投光装置是上述(1)所述的装置，并且将所述照明光源和所述反射光学系统设置在所述各聚光光学系统中。

(4)本发明的外观检查用投光装置是上述(1)所述的装置，并且使所述各聚光光学系统的光轴在焦点附近交叉或集中。

(5)本发明的外观检查用投光装置是上述(1)所述的装置，并且将所述照明光源对每个多组的所述聚光光学系统公用设置。