[发明专利]检查装置及检查方法

说明书

技术领域

本发明涉及电路连接线的检查技术。

背景技术

在检查电路衬底上的电路连接线(导电图案)的断线时，一般采用将检查信号供给到电路连接线、在电路连接线的端部等检测该信号并加以分析的方法。在此，作为在电路连接线的端部等检测检查信号的方法，人们提出了使用探针接触电路连接线的接触式和使用非接触传感器检测电路连接线的非接触式。

所谓非接触式检查，是指将随时间变化的检查信号供给到电路连接线，通过介于电路连接线和非接触传感器之间的静电电容检测出显现于该传感器的信号，以检查该电路连接线的断线等的方法，作为非接触传感器来说，例如有人建议由具有导电性的金属板等构成的电极，或由半导体组件等构成的电极。

如此的非接触式检查，其优点在于：由于未接触电路连接线，所以几乎不会导致损伤，而且，还可适应于微细间距的电路连接线。

作为非接触式检查的一例，例如有(日本专利)特开平10-239371号公报的记载。在该公报中记载一种发明，认为问题之一是如果采用非接触传感器来检查中途有分支的电路连接线时，无法准确判定是否有断线，为解决此问题，在分支的电路连接线的各端部分别布置非接触传感器，判定是否有断线。

但是，根据(日本专利)特开平10-239371号发明，由于在分支的各电路连接线端部分别布置非接触传感器，需要相当于分支数量的非接触传感器，导致非接触传感器的数量增加的倾向。因此，易导致检查装置的成本提高。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种检查装置及检查方法，可使用较少数量的非接触传感器，针对中途分支的电路连接线或其混合电路连接线进行检查。

本发明提供一种检查装置，用于检查具有3个以上端部的分支电路连接线，其特征在于：包括：

向所述分支电路连接线的一个端部供给所述检查信号的供给机构；

在所述分支电路连接线的其它端部、以非接触方式在该分支电路连接线上检测所述检查信号的非接触传感器；以及

根据所述非接触传感器检测出的所述检查信号来判定所述分支电路连接线上有无断线的判定机构；

对至少1个所述非接触传感器，分配2个所述其它端部，

所述判定机构，针对由分配2个所述其它端部的所述非接触传感器检测出的所述检查信号，对该检查信号的强度与给定的阈值进行比较，判定所述分支电路连接线有无发生断线。

并且，本发明提供一种检查装置，用于检查具有3个以上端部的分支电路连接线和具有2个端部的单一电路连接线所混合存在的电路连接线，其特征在于：包括：

向所述分支电路连接线的一个端部及所述单一电路连接线的一个端部供给检查信号的供给机构；

在所述分支电路连接线的其它端部或所述单一电路连接线的另一端部、以非接触方式在该分支电路连接线或该单一电路连接线上检测所述检查信号的非接触传感器；以及

根据所述非接触传感器检测出的所述检查信号来判定所述分支电路连接线或所述单一电路连接线上有无断线的判定机构；

对至少1个所述非接触传感器，分配1个分支电路连接线的所述其它端部和1个或多个所述单一电路连接线的另一端部。

并且，本发明提供一种检查装置，用于检查具有3个以上端部的分支电路连接线和具有2个端部的单一电路连接线所混合存在的电路连接线，其特征在于：包括：

向所述分支电路连接线的一个端部及所述单一电路连接线的一个端部供给检查信号的供给机构；

在所述分支电路连接线的其它端部或所述单一电路连接线的另一端部、以非接触方式在该分支电路连接线或该单一电路连接线上检测所述检查信号的非接触传感器；以及

根据所述非接触传感器检测出的所述检查信号来判定所述分支电路连接线或所述单一电路连接线上有无断线的判定机构；

对至少1个所述非接触传感器，分配2个分支电路连接线的所述其它端部和1个或多个所述单一电路连接线的另一端部，

所述判定机构，针对由分配2个所述其它端部的所述非接触传感器检测出的所述检查信号，对该检查信号的强度与给定的阈值进行比较，判定所述分支电路连接线有无发生断线。

并且，本发明提供一种检查装置，用于检查具有3个以上端部的分支电路连接线和具有2个端部的单一电路连接线所混合存在的电路连接线，其特征在于：包括：

向所述分支电路连接线的一个端部及所述单一电路连接线的一个端部供给检查信号的供给机构；