[发明专利]具有几个传感元件的磁阻角传感器

权利要求书

1.一种磁阻传感器1，其包括一个具有主参考磁化轴3的主传感元件2，其用于确定所述主参考磁化轴3与磁场方向之间的角，其特征在于主传感元件2被电连接到具有第一参考磁化轴9的第一校正传感元件6及具有第二参考磁化轴10的第二校正传感元件8上，第9和第10参考磁化轴与主参考轴3形成反号的5°和85°之间校正角θ。

2.一种包括如权利要求1所述类型的第一传感器和第二传感器的传感器装置，其特征在于第二传感器的主参考磁化轴3被旋转过第一传感器主传感元件的周期性输出信号的四分之一周期，并且校正角为每个校正传感元件的1/8周期。

3.如权利要求2所述的传感器装置，其特征在于第一和第二校正传感元件6、8具有基本上为主传感元件电阻的1/√2倍的电阻。

4.如权利要求1所述的传感器或如权利要求2或3所述的传感器装置，其包括附加的与第一和第二校正传感元件6、8同类型的校正传感元件，所述附加的校正传感元件具有参考磁化轴，该参考磁化轴使相对主参考磁化轴的异号角基本上为第一主传感器1输出信号周期的n.1/16，其中n为一个整数。

5.一种包括四个如权利要求1所限定类型的磁阻传感器的传感器装置，所述磁阻传感器被结合进一个惠斯登桥配置。

6.一种制造如权利要求1所限定类型的磁阻传感器的方法，根据所述方法，所有的传感元件2、6、8被喷射淀积到一个单基片上并且第一和第二校正传感元件6、8的参考磁化轴9、10与主参考磁化轴3之间的校正角θ通过将所喷射的材料形成图案而构成。

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于主参考磁化轴3与第一和第二校正传感元件6、8的参考磁化轴9、10之间的角θ以下述方式构成，即通过在具有与校正角θ相同方向的偏置磁场中局部或单独加热第一和第二传感元件6、8而构成，其中校正角θ为主参考磁化轴3与第一校正传感元件6和第二校正传感元件8的参考磁化轴9、10之间的角。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于局部加热是借助于使电流通过第一校正传感元件6或第二校正传感元件8而实现。

9.如权利要求8所述的方法，其特征在于加热是借助于激光而实现。