[发明专利]生产六氯乙硅烷的方法

权利要求书

1.一种生产六氯乙硅烷的方法，其中六氯乙硅烷是由通过在高温下热裂解或氢化还原氯硅烷来沉积多晶硅的硅反应体系排放的废气制得，该方法包括：

冷却该废气得到冷凝物；和

蒸馏该冷凝物以回收六氯乙硅烷。

2.按照权利要求[1]的生产六氯乙硅烷的方法，该方法还包括：

冷却多晶硅反应体系排放出的废气，以使冷凝物与氢气分离；

蒸馏该冷凝物以分离未反应的氯硅烷和副产物四氯化硅；和

回收蒸馏出的六氯乙硅烷。

3.按照权利要求[1]或[2]的生产六氯乙硅烷的方法，该方法还包括：

第一蒸馏过程，其中蒸馏与氢气分离的冷凝物，以分离未反应的氯硅烷；

第二蒸馏过程，其中蒸馏第一蒸馏过程残留的液体，以分离四氯化硅；和

第三蒸馏过程，其中蒸馏第二蒸馏过程残留的液体，以分离六氯乙硅烷。

4.按照权利要求[1]或[2]的生产六氯乙硅烷的方法，该方法还包括：

一次蒸馏过程，其中蒸馏与氢气分离的冷凝物，以连续分离未反应的氯硅烷和四氯化硅；和

一次蒸馏过程，其中蒸馏所述蒸馏过程残留的液体，以分离六氯乙硅烷。

5.按照权利要求[1]-[4]任一项的生产六氯乙硅烷的方法，该方法还包括：在六氯乙硅烷的蒸馏过程中，分出初馏分；和

在高温下回收主要组分为六氯乙硅烷的馏分。

6.按照权利要求[1]-[4]任一项的生产六氯乙硅烷的方法，该方法还包括：在六氯乙硅烷的蒸馏过程中，分出初馏分；

回收具有四氯乙硅烷作为主要组分的中间馏分；和

在高温下回收主要组分为六氯乙硅烷的馏分。

7.按照权利要求[1]-[6]任一项的生产六氯乙硅烷的方法，其中通过使用各个蒸馏塔连续进行氯硅烷、四氯化硅和六氯乙硅烷的蒸馏过程。

8.按照权利要求[1]-[7]任一项的生产六氯乙硅烷的方法，其中在氯硅烷蒸馏过程与四氯化硅的蒸馏过程之间、四氯化硅的蒸馏过程与六氯乙硅烷的蒸馏过程之间、在四氯化硅的蒸馏过程中或者在六氯乙硅烷的蒸馏过程中引入氯。

9.按照权利要求[8]的生产六氯乙硅烷的方法，该方法包括：

在各蒸馏过程中引入氯以进行氯化，将残余液体中残存的氯脱气。

10.按照权利要求[9]的生产六氯乙硅烷的方法，该方法包括：

将惰性气体引入残留的液体中；和

通过鼓泡将氯脱气。

11.按照权利要求[8]、[9]或[10]的生产六氯乙硅烷的方法，该方法还包括：

在氯硅烷、四氯化硅或六氯乙硅烷的蒸馏过程中的至少一个蒸馏过程之后，向残余液体中引入氯以进行氯化；

将残存的氯脱气；

将该残余液体引入下一蒸馏过程；或者

向该残余液体中引入氯以进行氯化；

将该残余液体引入下一蒸馏过程；和

将氯脱气。