[发明专利]光谱分析仪

权利要求书

1.一种光谱分析仪，其特征在于：一个衍射光栅(DG)；输入装置(PDM，FP1/1，FP1/2)，它包括用于将输入光束分解的装置(PDM)，以便提供第一和第二光束(LR，LT)，第一和第二光束(LR，LT)各有一个线偏振态，该线偏振态相应于输入光束的两个相互垂直的线偏振态中的一个；用于使第一和第二光束射向衍射光栅(DG)的装置(FP1/1，FP1/2)；及输出装置，用于使第一和第二光束在衍射之后射向两个输出端口(FP2/1，FP2/2)，以使每个端口都基本上是在通过衍射光栅衍射之后，在一选定波长处或者在一选定波长附近，只接收相应的一个光束，安排是这样的，即在分析仪工作波长带内任一特定波长处，使第一和第二光束的每一个的偏振态都基本上保持不随时间而变。

2.根据权利要求1的光谱分析仪，其特征在于：第一和第二光束的每一个都在其的线偏振态平行于衍射光栅相应的衍射平面的情况下，入射到衍射光栅(DG)上。

3.根据权利要求1或2的光谱分析仪，其特征在于：输入装置包括：装置(PMF1和PMF2)，用于使第一和第二光束线偏振态之一或二者与波长无关地旋转，以使上述两个线偏振态相互平行对准；装置(FP1/1，FP1/2)，用于将第一和第二光束导向衍射光栅(DG)上，该装置也是这样，分别使第一和第二光束的线偏振态相互平行，并平行于衍射光栅相应的衍射平面。

4.根据权利要求3的光谱分析仪，其特征在于：实施旋转的装置(PMF1，PMF2)包括至少一个扭转的偏振保持光纤(PMF2)。

5.根据上述权利要求中任意一个的光谱分析仪，其特征还在于：用于进行上述选定波长的扫描和选择的调谐装置(TT)。

6.根据上述权利要求中任意一个的光谱分析仪，其特征还在于：反射镜装置(RAM)，用于反射在第一次衍射之后离开衍射光栅的上述第一和第二光束(LR，LT)，以便使上述第一和第二光束以一定的移位返回到衍射光栅，该移位垂直于发生第一次衍射的衍射平面，以便使光束进行第二次衍射，并且输出装置使光束在第二次衍射之后射向输出端口(FP2/1，FP2/2)。

7.根据上述权利要求中的任意一个的光谱分析仪，其特征在于：衍射光栅基本上是平面，并且输入装置还包括准直装置(L1，PM1)，该准直装置(L1，PM1)用于使上述从导向装置(FP1/1，FP1/2)射出的上述第一和第二光束中的每个都基本上准直，并将准直的第一和第二光束加到衍射光栅(DG上)，而输出装置还包括聚焦装置(L2；PM2)，用于将衍射的准直光束分别聚焦到输出端口(FP2/1，FP2/2)上。

8.根据权利要求7的光谱分析仪，其特征在于：准直装置包括一个透镜(L1)。

9.根据权利要求7或8的光谱分析仪，其特征在于：聚焦装置包括一个透镜(L2)。

10.根据权利要求7的光谱分析仪，其特征在于：准直装置包括一个设置在定向装置(FP1/1，FP1/2)和衍射光栅之间的偏轴抛物面镜(PM1)，用于使从导向装置射出的第一和第二光束准直，并将准直的光束加到衍射光栅(DG)上。

11.根据权利要求7的光谱分析仪，其特征在于：聚焦装置包括一个设置在衍射光栅和输出端口(FP2/1，FP2/2)之间的偏轴抛物面镜(PM2)，用于收集从衍射光栅(DG)射出的基本上准直的光束，并将上述光束分别聚焦到输出端口(FP2/1，FP2/2)上。

12.根据权利要求7的光谱分析仪，其特征在于：准直装置包括一个设置在定向装置(FP1/1，FP1/2)和衍射光栅之间的偏轴抛物面镜(PM1)，用于使从定向装置射出的第一和第二光束准直，并将准直的光束加到衍射光栅(DG)上，其中聚焦装置包括一个设置在衍射光栅和输出端口之间的第二偏轴抛物面镜(PM2)，用于接收从衍射光栅(DG)射出的基本上准直的光束，并将上述光束分别聚焦到输出端口(FP2/1，FP2/2)上。

13.根据权利要求6的光谱分析仪，其特征在于：反射镜装置(RAM)包括一个平面镜。

14.根据权利要求4、5、6、7、8或9的光谱分析仪，其特征还在于一个位于每个准直光束的路线中的平面反射镜(M)。