[发明专利]用于在等离子聚合装置中固定电极的装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种等离子聚合装置中的电极，更具体地说，涉及这样一种等离子聚合装置中固定电极的设备，它能使电极绝缘，通过将电极安装在一个箱室的一面壁上防止电极变形，并使得电极易于安装和拆除。

现有技术

如果一个诸如钢板这样的基质的表面上用等离子体覆盖着一层薄膜，将形成一个具有良好一致性并且耐磨的表层。具有表层的产品被用于磁盘、光盘、碳化物工具等等之类的地方。而且，如果生成在钢板表面上的油漆涂膜进行了等离子处理，则覆盖钢板的未塑化的涂层就具有良好的耐久性和抗腐蚀性。特别是，经这种处理，可以通过聚合物聚合基质的表面，增加亲水性或疏水性，从而，得到改进的材料被广泛地使用。

WO99/28530中披露了一种典型的等离子体聚合装置。在图1中，该装置包括一个真空室1，安装在该真空泵5、6室中的电极4，用于控制真空室压力，用于测量真空度的测量计7、8，用于使电极产生电势差的电源装置3，以及用于供应诸如活泼气体和氮的未反应气体的反应气体调节装置9、10。

下面说明一个上述装置的等离子体聚合过程的例子。基质2安装在箱室1中，通过启动旋转泵5用热电偶测量计7检查箱室中压力是否维持在10^-3托的真空度之后，通过启动扩散泵6用离子测量计8检查箱室中的压力是否维持在10^-6托(Torr)的真空度。基质被电源3偏置为正极(或主动电极)，而另一端的电极4接地。如果箱室的压力维持在正常的真空度，反应气体和惰性气体将良好地供应在理想位置周围。混合比由热电偶测量到的压力来控制。倘若真空室压力成为一定的真空度，将放出直流电或高频波真空室。然后，在直流电或高频波产生的等离子体中，分子键被打破，而打破的链和激活的阳离子、阴例子结合，从而在置于电极之间的基质表面上形成聚合物质。

在上述装置中，电极4没有接电源而是接地。如果该电极接了电源，则需要与箱室绝缘，并且需要一种用于固定电极装置将电极置于与被处理的基质有预定间隔的位置上。特别是对于既能进行上述不连续的处理又能连续进行等离子聚合处理的装置，当设备长时间工作时，电极可能松弛或者电极之间的间距可能变化。

发明内容

因此，本发明的一个目的是提供一种电极结构，在等离子聚合装置内的电极接电源的情况下，能使电极和箱室绝缘。

本发明的另一目的是提供一种拉紧力调整装置，用于有效地长时间固定电极并防止电极变形。

本发明还有一个目的是提供一种装置，用于在等离子聚合装置内固定电极，使得电极的安装和拆除能在短时间内轻松完成。

为了达到上述目的，本发明提供了一种用于在等离子聚合装置内固定电极的装置，包括一个处理室；一个真空泵，用于维持处理室中的真空状态；至少一个置于处理室中的电极，用于高压放电；一个用于固定电极的装置；以及一个电源，用于向电极施加电能。而用于固定电极的装置包括一个用绝缘材料制成的电极夹持部件，用于覆盖住和夹持电极末端；一个经过电极夹持部件的导线部件，用于电极和电源间的电连接；以及一个固定部件，用于将电极夹持部件固定在处理室中适当位置。

为了达到前述目的，本发明还提供了一种用于在等离子聚合装置内固定电极的装置，包括一个处理室；一个真空泵，用于维持处理室中的真空状态；至少一个置于处理室中的薄片状电极，用于高压放电；一个电源，用于向电极施加电能；一个用绝缘材料制成的电极夹持部件，用于覆盖住和夹持电极末端；一个经过电极夹持部件的导线部件，用于电极和电源间的导电连接；一个固定部件，用于将电极夹持部件固定在处理室中适当位置；以及一个弹性部件，用于提供沿电极纵向方向的弹力。

为了达到前述目的，本发明还提供了一种用于在等离子聚合装置内固定电极的装置，包括一个处理室；一个真空泵，用于维持处理室中的真空状态；至少一个置于处理室中的薄片状电极，用于高压放电；一个电源，用于向电极施加电能；一个用绝缘材料制成的电极夹持部件，用于覆盖住和夹持电极末端；一个经过电极夹持部件的导线部件，用于电极和电源间的导电连接；以及一个由圆柱状导电材料制成的内部夹持器，被电极夹持器固定和覆盖住并且电极的一端卷绕在其上。

附图简述

图1是传统等离子聚合装置的示意图；

图2是等离子聚合连续处理系统的剖面图；

图3是本发明的一个实施例的透视图；

图4a是本发明的另一实施例的纵向剖视图；