[发明专利]可移动反光镜光学位置的确定方法及其装置

权利要求书

1.用于可移动测量目标(10)，尤其是一个反光镜或反光器的光学位置确定的方法，其中一个借助光源(2)产生的测量光线(6)被测量目标(10)反射并且到达一个位置灵敏的光探测器(12)上，借助该光探测器(12)完成一个相应于测量目标(10)的位置信息的转换，其特征在于：

测量光线(6)借助一个光学系统(8)被聚焦在光探测器(12)上，

并且由通过光探测器(12)获取的测量值，确定对应于计算函数已聚焦的测量光斑的强度分布的重心或最大值的信号。

2.按照权利要求1的方法，其特征在于：在确定重心或最大值(Is)时，考虑该被确定的或已知的强度(1)的分布函数和/或以对应于计算函数的强度分布为基础。

3.按照权利要求1或2的方法，其特征在于：在确定重心或最大值时借助一个预定的阈值(Is)阻止较小的强度值和/或将阈值Is设定在20％至50％的范围，优选的数量级为最大强度的30％。

4.尤其按照权利要求1-3之一的方法，其特征在于：为了产生一个用于测量目标位置调整电路的调整值，通过将光探测器(12)上测量光束(6)的焦点光斑的位置与一个标准值相比较，一个调整值将随之产生，该调整值被输入到一个属于测量目标的调整电路(22)中，这里光探测器(12)上的测量光束优选地通过内插确定。

5.按照权利要求4的方法，其特征在于：生成一个模拟调整值和/或一个模拟调节值和/或生成一个直接调整反光镜位置的调整值。

6.按照权利要求1-5之一的方法，其特征在于：从测量目标(10)反射的测量光线立刻被引导到位置灵敏光探测器(12)上。

7.按照权利要求1-6之一的方法，其特征在于：它用于一个扫描装置，其中同一反光镜用作测量目标，在使用一个其他的光源条件下借助这一反光镜实施该扫描方法。

8.实施按照权利要求1-7之一的方法的装置，其特征在于：优选地采用激光器作为光源来产生测量光线的光学图像系统(8)，该光学图像系统被设计成聚焦单元和/或它通过测量目标(10)在该位置灵敏光探测器(12)上产生一个焦点光斑。

9.按照权利要求8的装置，其特征在于：在测量目标(10)和光探测器(12)之间存在一个对测量光线(6)的直接光路。

10.按照权利要求8或9的装置，其特征在于：一个用于确定强度分布的重心(Is)和/或最大值的电子学单元(20)被设置在光探测器(12)之后，和/或该电子学单元(20)，在该电子学单元(20)之后设置一个用于测量目标(10)位置调节的调节电路(22)。