[发明专利]垂直式扫描型显微镜用悬臂及使用该悬臂的垂直式扫描型显微镜用探针无效
| 申请号： | 01804103.5 | 申请日： | 2001-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN1397011A | 公开（公告）日： | 2003-02-12 |
| 发明（设计）人： | 中山喜万;秋田成司;原田昭雄;大川隆;高野雄一;安武正敏;白川部喜治 | 申请（专利权）人： | 大研化学工业株式会社;精工电子有限公司;中山喜万 |
| 主分类号： | G01N13/16 | 分类号： | G01N13/16;G12B21/08 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王以平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 垂直 扫描 显微镜 悬臂 使用 探针 | ||
1.一种垂直式扫描型显微镜用悬臂，扫描型显微镜用探针通过固定于悬臂的纳米管探针的前端来获得试样表面的物性信息；其特征在于：在悬臂上设置用于对成为探针的纳米管的基端部进行固定的安装区域，当相对平均试样面将悬臂配置成测定状态时使上述安装区域的高度方向成为相对试样面大体垂直的状态地设置。
2.根据权利要求1所述的垂直式扫描型显微镜用悬臂，其中，上述安装区域为安装平面。
3.根据权利要求1所述的垂直式扫描型显微镜用悬臂，其中，上述安装区域为将纳米管的基端部插入的安装孔，该安装孔的轴向成为上述高度方向。
4.根据权利要求1所述的垂直式扫描型显微镜用悬臂，其中，上述安装区域为将纳米管的基端部嵌入的安装槽，该安装槽的槽方向成为上述高度方向。
5.根据权利要求1所述的垂直式扫描型显微镜用悬臂，其中，上述安装区域为棱线部，该棱线的方向为上述高度方向。
6.根据权利要求1所述的垂直式扫描型显微镜用悬臂，其中，上述安装区域为安装曲面，当将悬臂相对试样面配置成测定状态时使上述安装曲面的切平面的高度方向相对平均试样面成为大体垂直状态地设置。
7.根据如权利要求1所述的垂直式扫描型显微镜用悬臂，其中，上述安装区域为通过利用聚焦离子束加工、腐蚀工艺、或淀积工艺而形成。
8.一种垂直式扫描型显微镜用探针，通过固定于悬臂的纳米管探针的前端获得试样表面的物性信息；其特征在于：在悬臂上设置用于对成为探针的纳米管的基端部进行固定的安装区域，当相对平均试样面将悬臂配置成测定状态时使上述安装区域的高度方向成为相对平均试样面大体垂直的状态地设置，将纳米管的基端部固定到该安装区域的高度方向。
9.根据权利要求8所述的垂直式扫描型显微镜用探针，其中，上述悬臂的悬臂部的轴向在测定状态下相对平均试样面以角度θ配置成尾部抬起状时，上述纳米管的轴线与悬臂部的轴向大体呈(θ+90)度的角度。
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