[发明专利]导电性扫描型显微镜用探针及使用该探针的加工方法无效
| 申请号： | 01804104.3 | 申请日： | 2001-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN1397010A | 公开（公告）日： | 2003-02-12 |
| 发明（设计）人： | 中山喜万;秋田成司;原田昭雄;大川隆;高野雄一;安武正敏;白川部喜治 | 申请（专利权）人： | 大研化学工业株式会社;精工电子有限公司;中山喜万 |
| 主分类号： | G01N13/12 | 分类号： | G01N13/12;G12B21/04 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王以平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 导电性 扫描 显微镜 探针 使用 加工 方法 | ||
1.一种导电性扫描型显微镜用探针，通过固定于悬臂的导电性纳米管探针的前端来获取试样表面的物性信息；其特征在于：由形成于上述悬臂表面的导电性被覆膜、将基端部接触并配置于悬臂的所希望部位的表面的导电性纳米管、及从该导电性纳米管的基端部覆盖上述导电性被覆膜的一部分对导电性纳米管进行固定的导电性堆积物构成，由导电性分解堆积物使导电性纳米管和导电性被覆膜成为导通状态。
2.一种导电性扫描型显微镜用探针，通过固定于悬臂的导电性纳米管探针的前端来获取试样表面的物性信息；其特征在于：由形成于上述悬臂表面的导电性被覆膜、将基端部接触并配置于该导电性被覆膜的所希望部位的表面的导电性纳米管、覆盖该基端部对导电性纳米管进行固定的导电性堆积物构成，由导电性堆积物使导电性纳米管和导电性被覆膜成为导通状态。
3.根据权利要求1或2所述的导电性扫描型显微镜用探针，其中，在上述导电性堆积物上进一步被覆并形成到达导电性纳米管和导电性被覆膜的导电性涂覆膜，使导电性纳为管与悬臂的导通状态可靠。
4.一种导电性扫描型显微镜用探针，通过固定于悬臂的导电性纳米管探针的前端来获取试样表面的物性信息；其特征在于：由将基端部接触并配置于上述悬臂的所希望部位的表面的导电性纳米管、覆盖该基端部而将导电性纳米管固定到悬臂的导电性堆积物、及从该导电性堆积物上到导电性纳米管和悬臂地形成的导电性涂覆膜构成，使导电性纳米管和悬臂成为导通状态。
5.根据权利要求3或4所述的导电性扫描型显微镜用探针，其中，上述导电性涂覆膜覆盖纳米管前端部和前端地形成。
6.根据权利要求5所述的导电性扫描型显微镜用探针，其中，构成上述导电性涂覆膜的导电性物质为磁性物质。
7.一种试样加工方法，其特征在于：使用权利要求5所述的导电性扫描型显微镜用探针，用金属膜形成该导电性涂覆膜并作为金属源，在该导电性扫描型显微镜用探针与试样间加上规定的电压，从纳米管的前端到试样表面通过电场使属于上述金属源的金属原子放出离子，在试样表面形成金属堆积物。
8.根据权利要求7所述的加工方法，其中，上述金属堆积物的直径在50nm以下。
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