[发明专利]无油压差传感器

权利要求书

1.一种用于测量两种流体之间的一个压差的压力传感器，这种压力传感器包括：

一个隔膜支撑部件，拥有一个外边界和一个贯穿地形成于那里的开口；

一个第一隔膜，通过支撑部件覆盖开口的一侧；

一个第二隔膜，通过支撑部件覆盖开口的其它一些部分；以及

一个可移动部件，贯穿开口延伸，并耦合在第一和第二隔膜之间，其中，可移动部件响应施加于第一和第二隔膜之间的压力的一个差而移动。

2.权利要求1的压力传感器，其特征在于，把第一和第二隔膜结合于隔膜支撑部件的外边界。

3.权利要求1的压力传感器，包括在第一隔膜上的一个电极和在隔膜支撑部件上的一个电极，其中，第一隔膜的偏转导致第一和第二电极之间的电容值方面的一个变化。

4.权利要求1的压力传感器，包括装载在可移动部件上的一个第一电极和装载在隔膜支撑部件上的一个第二电极，其中，第一和第二电极之间的一个电容值与隔膜支撑部件中的可移动部件的移动相关。

5.权利要求2的压力传感器，包括至少一个其配置旨在拥有一个响应第一隔膜中的一个局部化偏转而变化的电容值的附加电极。

6.权利要求1的压力传感器，其特征在于，通过一个壁板把耦合部件结合于隔膜支撑结构的外边界，壁板从外边界的相反的朝外的表面凹进。

7.权利要求1的压力传感器，其特征在于，隔膜支撑部件包括一个把耦合部件结合于外边界的一个不同部分的第二壁板。

8.权利要求7的压力传感器，其特征在于，隔膜支撑部件包括一个结合于壁板和外边界之间的支撑，这一支撑从朝外的表面凹进。

9.权利要求8的压力传感器，还包括一对儿电容位移传感器，以测量隔膜相对于隔膜支撑部件的位移，每一个电容位移传感器包括一个放置在支撑上的第一电容器板和一个放置在面向第一电容器板的相应隔模的一个表面上的第二电容器板。

10.权利要求1的压力传感器，其特征在于，隔膜支撑部件包括在相反的端点处结合于第一和第二隔膜的一系列耦合部件，每一个耦合部件具有一个把耦合部件结合于外边界的壁板。

11.权利要求1的压力传感器，其特征在于，隔膜支撑部件包括一个结合于外边界并向内延伸的过停部件，其配置旨在限制第一隔膜的移动。

12.权利要求11的压力传感器，其特征在于，过停部件拥有与每一隔膜相间隔的相反的表面。

13.权利要求1的压力传感器，其中，隔膜支撑部件包括一个凹槽，第一隔膜的一部分紧靠凹槽偏转。

14.权利要求12的压力传感器和一个用于测量第一隔离器隔膜的一部分的偏转的感应设备。

15.权利要求14的压力传感器，其中，感应设法包括一个放置在凹槽中的隔膜支撑结构上的电容电极，以及一个放置在第一隔离器隔膜的一部分上的第二电容电极。

16.权利要求1的压力传感器，其特征在于，隔膜支撑结构包括蓝宝石。

17.权利要求1的压力传感器，其特征在于，第一和第二隔膜通过熔接黏结耦合于隔膜支撑部件。

18.一个过程变送器包括一个根据权利要求1的压力传感器。

19.权利要求1的压力传感器，其特征在于，第一隔膜和可移动部件为一个整体。

20.权利要求1的压力传感器，其特征在于，第一和第二隔膜直接接触一种过程流体。