[发明专利]应用多束激光束的工件加工方法

权利要求书

1.一种用加工激光束(3，3’，3”)加工工件的方法，其特征在于，＿＿至少两束激光(2a，2b)通过一光束组合装置(5)被聚集在一起，＿＿通过一普通的导束装置被传给工件(4)。

2.按照权利要求1的方法，其特征在于，至少两束激光(2a，2b)被导向到相同的目标点。

3.按照权利要求1或2所述的方法，其特征在于，引入到普通导束装置中的两束激光(2a，2b)不仅是平行的，而且是相同的关系。

4.按照前述权利要求之一的方法，其特征在于，激光束(2a，2b)是间隔的激光束，并来源于不同的间歇地输出光的激光源(1a，1b)，光脉冲同步地到达光束组合装置及同步地光照射到工件(4)。

5.按照权利要求1所述的方法，其特征在于，激光束(2a，2b)是间隔的激光束，并来源于不同的间歇地输出光的激光源(1a，1b)，两个激光源(1a，1b)的光脉冲同步地到达光束组合装置(5)及以相互时间位移的关系照射到一个和相同的工件(4)。

6.按照权利要求1所述的方法，其特征在于，激光源(1a，1b)是质量转换的激光，称为Q-转换激光，其每光闪的能量随增加频率超比例地降低。

7.按照前述权利要求之一的方法，其特征在于，激光束(2a，2b)是线性偏振的激光束，尤其是与一个偏振平面相互倾斜90°。

8.按照前述权利要求之一的方法，其特征在于，至少三束激光(2a，2b，2c)用一个连续可能的多次程序被聚集在一起，并共同形成加工激光束(3)，

＿＿一第一间歇式激光束(2a)和一第二间歇式激光束(2b)在一个光束组合装置中，以相互时间位移的关系被聚集在一起，

＿＿以该种方式获得的局部加工光束(3’)通过能够改变局部加工光束(3’)线性偏振的一有源光学元件(6)，只要一激光束(如2b)照射到有源光学元件(6)，该元件呈启动，可改变该激光束对于其它激光束(如2a)的偏振，但是，当其它的激光束(如2a)照射到元件(6)，它是去活性的，

    以该种方式获得改变的局部加工光束(3’)，具有对应的线偏振的一激光束(2a)与另一个其线偏振特别不同于局部加工光束(3’)线偏振的激光束(2c)被聚集在另一个光束组合装置(5b)，及

    通过一导束装置，加工激光束被通入到工件(4)。

9.按照权利要求8的方法，其特征在于，以该方式获得的局部加工光束(3’)通过另一个有源光学元件，该元件能够改变一到达光束的线偏振，例如，另一激光束(2c)到局部加工光束(3’)的线偏振，是利用一加工激光束(3’)与第一激光束如(2a)的线偏振而产生的，等等。

10.按照前述权利要求之一的方法，其特征在于，有源光学元件(6)是一普克尔斯盒。

11.按照前述权利要求之一的方法，其特征在于，有源光学元件是一克尔盒。

12.按照前述权利要求之一的方法，其特征在于，光学元件(6)是一如根据法拉第效应运转的磁光调制器或一种利用声波域作用而改变偏振的声光调制器。

13.按照前述权利要求之一的方法，其特征在于，有源光学元件(6)应用由机械负荷如压力在某些材料产生的二次光折射，特别是，材料是一种单轴透明晶体，如一种氯化钠(NaCl)或氟化锂(LiF)晶体，或丙烯酸树脂。

14.按照前述权利要求之一的方法，其特征在于，单激光束(2a，b)的激光脉冲可以被改变它们相互之间的，从同步到时间位移，反之亦然的时间顺序。

15.按照前述权利要求之一的方法，其特征在于，一局部加工光束(3’)和一后起始激光束(如2b)的最后聚集之后，它们不再通过任一改变线性偏振的有源光学元件。

16.按照前述权利要求之一的方法，其特征在于，激光源(1a，1b)放射相同波长的激光束(2a，2b....)。

17.按照前述权利要求之一的方法，其特征在于，激光源是同类激光源。

18.按照前述权利要求之一的方法，其特征在于，激光束(2a，2b)施加了相同类型的偏振，特别是线性偏振。