[发明专利]具有反应副产物沉积防止装置的排气管和沉积防止方法

权利要求书

1.一种排气管，其特征在于，具有：

在内部有排气通路的内筒，

在内筒的外侧留有空隙而设置的外筒，

附接在内筒上的加热装置，

上述空隙与上述排气通路连通

2.根据权利要求1所述的排气管，其特征在于，为了沿上述内筒的内壁表面形成惰性气体或氮气层，具有将惰性气体或氮气导入到上述内筒内的装置。

3.根据权利要求1所述的排气管，其特征在于，上述内筒和外筒通过绝热部件连接。

4.根据权利要求1-3任一项所述的排气管，其特征在于，上述内筒比外筒短，在内筒的上游端连接到外筒上，在下游端形成用于将上述空隙和上述排气通路连通的连通口。

5.根据权利要求4所述的排气管，其特征在于，设置气体导入口，该导入口和上述空隙不连通，贯穿通过上述外筒和内筒的上游端，朝内筒的内壁表面开口，通过该气体导入口导入上述惰性气体或氮气。

6.根据权利要求1-3任一项所述的排气管，其特征在于，上述内筒比外筒短，在内筒的下游端连接到外筒上，在上游端形成用于将上述空隙和上述排气通路连通的连通口。

7.根据权利要求6所述的排气管，其特征在于，在上述外筒的下游端设置和上述空隙连通的气体导入口，通过该气体导入口导入上述惰性气体或氮气，通过上述空隙和上述连通口导入上述排气通路内。

8.根据权利要求1-3任一项所述的排气管，其特征在于，上述内筒和外筒的长度大致相同，它们在两端连接，在上述外筒上设置和上述空隙连通的气体导入口，上述内筒由多孔材料构成，通过上述气体导入口将上述惰性气体或氮气导入上述空隙中，通过由上述多孔材料构成的内筒的多个孔喷到上述排气通路内。

9.一种排气管，其特征在于，具有：

在内部有排气通路的内筒，

设置在该内筒外侧的外筒；

在内筒和外筒之间形成的密闭空间；以及

在外筒中设置的用于将液氮等极低温冷却介质导入上述密封空间的冷却介质导入口。

10.一种防止反应副产物沉积的方法，用于防止在对反应真空室排气的排气管内沉积反应副产物，其特征在于，通过形成覆盖排气管内表面的气体层，防止排气中的反应副产物沉积在该内表面上。

11.根据权利要求10所述的反应副产物沉积防止方法，其特征在于，上述排气管由具有排气通路的内筒和在该内筒外侧通过空隙设置的外筒构成，通过加热内筒，防止上述反应副产物沉积到该内筒的内表面上。

12.根据权利要求11所述的反应副产物沉积防止方法，其特征在于，通过使上述内筒和外筒之间的上述空隙变成真空，减少从上述内筒传送到外筒的热。

13.根据权利要求12所述的反应副产物沉积防止方法，其特征在于，在上述空隙变成真空状态的情况下，通过将该空隙和上述排气通路连通，为了排气导入变成真空状态的排气通路的真空状态。

14.一种反应副产物沉积防止方法，用于防止在对反应真空室排气的排气管内沉积反应副产物，其特征在于，

通过液氮等极低温冷却介质冷却上述排气管，

通过将预定气体导入冷却的排气管内，在排气管的内表面上形成气体冻结层，

在排气操作后，通过上述极低温冷却介质解除上述气体的冻结，并使冻结气体汽化，防止反应副产物沉积到上述排气管的内表面上。

15.根据权利要求14所述的反应副产物沉积防止方法，其特征在于，所述气体选自氨气、氩气、氮气。