[发明专利]蒸发物体涂层材料的装置无效
申请号: | 01805258.4 | 申请日: | 2001-12-14 |
公开(公告)号: | CN1404620A | 公开(公告)日: | 2003-03-19 |
发明(设计)人: | 帕维尔·霍卢巴日;幕伊米尔·伊列克 | 申请(专利权)人: | SHM公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 王敬波 |
地址: | 捷克*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蒸发 物体 涂层 材料 装置 | ||
【权利要求书】:
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