[发明专利]倒锥形抗蚀图案的形成方法有效
| 申请号： | 01805988.0 | 申请日： | 2001-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN1408078A | 公开（公告）日： | 2003-04-02 |
| 发明（设计）人： | 小林聪 | 申请（专利权）人： | 克拉瑞特国际有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26;H01L21/027;H05B33/22;H05B33/14;H05B33/12 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 锥形 图案 形成 方法 | ||
【权利要求书】：
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