[发明专利]依照干涉图案对衬底上材料的选择性沉积无效
| 申请号： | 01807758.7 | 申请日： | 2001-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN1422388A | 公开（公告）日： | 2003-06-04 |
| 发明（设计）人： | R·S·莫什莱夫扎德;T·A·拜伦 | 申请（专利权）人： | 3M创新有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30;G02B5/18 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 李家麟 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 依照 干涉 图案 衬底 材料 选择性 沉积 | ||
【权利要求书】：
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