[发明专利]用于芯片处理的集成全波长分光计有效
| 申请号： | 01809894.0 | 申请日： | 2001-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN1447915A | 公开（公告）日： | 2003-10-08 |
| 发明（设计）人： | 倪图强;T·恩戈;C·－H·黄;A·刘;F·卡维 | 申请（专利权）人： | 兰姆研究有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/20 | 分类号： | G01N23/20;H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 吴立明,梁永 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 芯片 处理 集成 波长 分光计 | ||
【权利要求书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于兰姆研究有限公司，未经兰姆研究有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/01809894.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
