[发明专利]采用可移动工作台和法拉第杯的均匀带电粒子曝光装置和方法无效
| 申请号： | 01810261.1 | 申请日： | 2001-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN1439166A | 公开（公告）日： | 2003-08-27 |
| 发明（设计）人： | 唐纳德·W·贝里亚 | 申请（专利权）人： | 普罗泰罗斯公司 |
| 主分类号： | H01J37/147 | 分类号： | H01J37/147 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王敬波 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 采用 移动 工作台 法拉第 均匀 带电 粒子 曝光 装置 方法 | ||
【权利要求书】：
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